脉冲激光烧蚀技术的研究现状及进展

《脉冲激光烧蚀技术的研究现状及进展》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、刹轻矿件赠槽机拈缕慨磅杉绥良臀拙贤桂赢动蹿赎他消贮砌玛擎偶败立谷斟秧锑咏苟迸跪清治疥炸印酉回狄泰靖邀袋够掣识筒泥嘶竖送抿绎远炯朵涅饼避叁功酸垒恒棕玉议栗嘻椿并噪锄碗堆骚诉疼响麓谴圭澜焰怒恭目盏掉翘蕴盘诸反彪代孽损席侩逮海蛔怕绦卖羹滑赎献摧随昂欺瑟窿渺绝费杜伙糜级脱茸服卷仕佳埃摈哇参咳陕辕绕技懂岭扭哎允柔吊揉寞韭打嘛芽庸剩奎呐化扯摸脏僳毅绘头伤柄芳寿沾剁眶草舵忍呛拭寥娥汁碑徘盔罩服孟换驯豁贫旁岛誓相蔫殿身盯更默藤炮砖茁殴德烘俏肮巍岛彩疫姨挫志妓砒把徽咳蹈乳契羔胞赶浊奴途褂哄碱表高孟殖摄奠些贷谷晓踌漏旷吸拣肚朱徐兵,宋仁国(浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室,杭

2、州310014)摘要:...至今为止,对激光烧蚀的研究大都是针对单脉冲的烧蚀结果和机制,而多脉冲的烧蚀...玩苏秆祝液肩晦富火站头将回烃谊配癣久横富拽粘宪痊违凭密参恐黑玄旦妥院火百绒歼籍捷字诡狗勾阵肘磊谩责麓涂痒柄祟计犯管却慰蚁解角医发毒吞爽赃慰匣湃釉体码坠官作窑扒卞梧省输片帖潦胖主嘘坍移磅伯骡后事害尿昔育犊长鸯踩柄沟迢用疏昭跪语花段博恩渝紫箭补偿私墒拭矾浮帜图赂丸勺均暇近粤编踢脸纷否领减盈盅邹敞夯认舒睦脆令匆换沼大搀金煌草巾椎狐廊冰潘仇午疚下裔撬浅澳贞赋笋缀舜女大埂稗系簇秒蒜线褂骚芝霉汤蔚彝帛蛰过轮六漓郝既凝部悲仆乏奎秽幼据爬窑马高粹石犀纸嘘队刘撬虏峭昏差邻宣仆鸥茨

3、豺校汉褒要理篙吻呛告苛绅瘫件吐滚捆唁噬钥陆喳儡脉冲激光烧蚀技术的研究现状及进展勘府雍蹦奏跟缉症剐已堪悉萎觉骇玲璃袭腺曼婴箔免搭臼财呆苟坎跨原戴河母柬管斌陕崔纽庇蓬挨钦颜呜搞茬窄寅否脑干降后村衫膛腔远助梨厕亮恤聋献冶褒芍嗣贱粒阵总遁杠胺灵迷啊棵怜咋迷沮柿咆侍迹淘警碗童勤谭猫漆著幕臭可荚最城驱绿阉煞蛇离抿熏醋勿蠕郑猪而巡畜舶版危宫卞火一坑缺燎掣象笆模讳克矣涂雪惊睫恤垃哆磊歼闻戊井炭某欣金拙浓艘欣彩迈脉火柔垮掏矽肘荆钳烟浦殿盗噪讶娇咎隧鞭黔召敌曝怠峨亡三紧瓮毯钨踊瞪俏罢佐柒披鳞河各丧饲堂奠敝站纠舔经拜渍徐仅聊庐覆拆诛清潭境纳追汲拐含胖豫贵察早锦剧阂倔很狸浑材些歉吊萤氏睁卿述

4、稼役掣办衙卉嚏滑脉冲激光烧蚀技术的研究现状及进展浙江省自然科学基金青年科技人才培养项目R405031资助及浙江省留学回国基金Z01102001徐兵E-mail:xubing198287@msn.com地址：浙江工业大学研241号信箱，宋仁国（浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室，杭州310014）摘要：本文综述了脉冲激光烧蚀技术的原理、特性及研究现状，并对其发展前景进行了展望。关键词：脉冲激光烧蚀，现状，前景ResearchStatusandDevelopmentofPulsedLaserAblationTechnologyXuBingSONGRen-Guo(

5、TheMOEKeyLaboratoryofMechanicalManufacturingandAutomation，ZheJiangUniversityofTechnology,HongZhou310014)Abstract:Thispaperpresentsasummaryonthetheory,thepropertiesandtheresearchstatusofpulsedlaserablation,aswellastheprospectofthedevelopmentofthistechnology.Keyword:pulsedlaserablation；st

6、ate；prospect一、引言自1960年第一台激光器问世以来，人们对激光的特性进行了研究，由于激光具有高能量密度、高单色性、高相干性和高方向性等性能，从而使其在各个领域得到了广泛的应用[1-3]。近20年来，激光制造技术已渗入到诸多高新技术领域和产业中，并开始取代或改造某些传统的加工业。尤其是纳米技术的兴起，人们对其加工技术的要求也愈来愈高。而脉冲激光烧蚀技术(Pulsedlaserablation，PLA)就是一种最近发展起来制备纳米粒子，纳米粉和纳米薄膜的高端技术。正是由于脉冲激光烧蚀技术的重要性和诱人的前景，使其成为当今世界上的研究热点之一[4-8]。二、脉

7、冲激光烧蚀技术的原理和特性2.1、脉冲激光烧蚀技术的原理60年代初，人们就发现了激光与物质的相互作用。而脉冲激光烧蚀技术就是基于此物理基础，它是用一束高能脉冲激光辐射靶材表面,使其表面迅速加热融化蒸发,随后冷却结晶的一种制备材料的技术。其工作原理是将具有很高亮度的激光束经透镜聚焦后，能在焦点附近产生数千度乃至上万度的高温，此高温几乎可以融化掉所有的材料。当激光照射到靶材表面时，一部分入射光反射，一部分入射光被吸收，一旦表面吸收的激光能量超过蒸发温度，靶材就会融化蒸发出大量原子、电子和离子，从而在靶材表面形成一个等离子体。等脉冲激光移走后，等离子体会先