洁净室送风系统

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1、洁净室送风系统（1）集中送风方式这种送风方式一般是数台大型新风处理机组和净化循环机组集中设置在空调机房内，空调机组可位于洁净室的侧面或顶部。经过温湿度处理和过滤后的空气由离心风机或轴流风机加压后通过风道送入送风静压箱，再由高效空气过滤器或超高效空气过滤器过滤后送入洁净室。回风经格栅地板系统，流入回风静压箱再回到净化循环系统，如此反复循环运行。集中送风方式的结构形式如图5-8和图5-9所示。5/5（2）隧道洁净室送风方式这种送风方式一般将洁净室划分为生产核心区和维护区，生产核心区要求高洁净度和严格的温湿度控制，设在单向流送风区内；维护区要求较低，设置在生产辅助设

2、备或无洁净要求的生产设备的尾部或配管配线等。生产区为送风区，维护区为回风区，构成空气循环系统。一般隧道式送风是由多个空气循环系统组成，所以其中一台循环机组出现故障不会影响其他区域生产环境的洁净度，并且各个循环系统可根据生产需要进行分区调控。隧道送风方式结构形式如图5-10所示。5/5（2）风机过滤单元送风方式在洁净室的吊顶上安装多台风机过滤单元（FFU）机组，构成循环系统，不需要配置净化循环空调机房，送风静压箱为负压。空气由FFU送到洁净室，从回风静压箱经两侧夹道回至送风静压箱。根据洁净室的温度调节需要，一般在回风夹道设干式表冷器。新风处理机可集中设在空调机房

3、内，处理后的新风直接送人送风静压。因送风静压箱为负压，有利于高效空气过滤器顶棚的密封；但由于FFU机组台数较多，在满布率较高时，一般投资较大，运行费用也高。有些FFU噪声较大，选用时需要注意。FFU送风方式如图5-11所示。5/5（2）模块式风机单元送风方式它是送风机安装在高效空气过滤器（HighEfficiencyParticulateAirFilter,HEPA）或超高效空气过滤器（UltraLowPenetrationAirFilter,ULPA）之上，1台送风机可配置数台过滤器的空气循环系统。这种模块式风机单元（FanModuleU-nit，FMU)循

4、环系统属无管道方式，空气输送速度较低，送风机和过滤器维修较方便，能量消耗较少，其送风方式如图5-12所示。（3）微环境+开放式洁净室的送风方式这种方式可以确保极为严格的半导体芯片生产环境或设备的微环境控制达到高洁净度等级（如0.05~0.1μm，ISO1级），而其周围的开放式大面积洁净环境仅保持在相对较差的洁净度等级（如ISO5级或ISO6级），微环境内为洁净度控制严格的单向流洁净环境，而开放式洁净室为单向流或混合流洁净室。这种方式的能量消耗较少，工艺布置灵活性好，建设投资和运行费用都可以降低。如图5-13所示为微环境洁净厂房示意图。5/55/5