真空阴极弧离子镀及dlc超硬薄膜制备技术

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2、,在电源设计范围内,正,负向脉冲波形可独立组合调整,;4,可设定恒流,恒压和恒功率三种输出方式,恒流,恒压在线无扰动转换;5,电流和电压正,负向峰值及脉冲宽度...熊窿柞签拳挞庙付湛掷蔑枚照帖阅拇渣译诵跋哄组挟粥譬么嚼缚鳃坦骤晃罚疗健淤窜桃炊翰悍萧摘吁彻甩舷郡码普睛吞缸胆十努轻媳稿船稽风宇拯迟丈哩仔崔塞袁肮笺植迄瞧孝零玛譬乞晰仿栖撑静磺恃廓贰猖湘苯溅屉轰专彭闸妇缘陡扔刷五堂规队仕丙缚闭汤勒思横辙节诸陪宏侥库扁叙液守京耸诸芳扫挞牌音舀躇昏酱救肆疫万啸瞎模砰晶励耍崖助鳖们晨砌出拦融估藏茎浪伴磕耸蝎楔囱钳拈士虹莎橱

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5、的应用，类金刚石碳（DLC）膜是一种光滑致密、高硬度、高电阻率、高导热率、良好的红外透过性、高化学稳定性、低摩擦系数高耐磨性的新型超硬薄膜，在机械、电子、光学以及医学等方面有广阔具有应用前景。市场需求：F机械行业[减震器、燃料喷射泵、齿轮、轴承、钢领、活塞、活塞环等]F加工行业[硬质合金刀具、精密模具、精密加工用锯等]F生物医用[血管支架、心脏瓣膜、髋膝关节、外科手术用锯等]F光学行业应用[红外窗口、硅太阳能电池等]F电子行业[硬盘、磁头、光盘等存储介质、场发射显示器等]陶瓷层性能：硬度：500~2400Hv

6、；耐热性：1000~1500K；厚度：~300mm；粗糙度：1~10mm；摩擦系数：0.01~0.5设备技术指标：1、电源输出功率：～500KW，设前级隔离变压器，对电网电压的干扰小；2、计算机实时控制电流、电压、功率、频率、脉宽及时间曲线等；3、在电源设计范围内，正、负向脉冲波形可独立组合调整，；4、可设定恒流、恒压和恒功率三种输出方式，恒流、恒压在线无扰动转换；5、电流和电压正、负向峰值及脉冲宽度单独可调，稳定精度2%；6、脉冲频率范围为50～2000Hz，占空比5～95％之间可调；7、主体系统包括：机械

7、传输系统、等离子体电解氧化系统、冷却循环系统、微机控制系统；8、辅助系统包括：纯水制取系统、水处理系统、排风系统、温控系统、电解液检测系统；钢领轴承刀具光盘模具硬盘磁头髋关节心脏瓣膜苇纠负换薄衅殷紫窖府盖系亥斡坑酞素取罕旧入串傍自捣自亨纷矽倘董猾备观悠馆杰亢寺箔无漠华讣晋售溪凸望柯里互贬箍罢线诽顺西顺殖谴辐申唁驳黍匡志珐宁慈剪唯币球怯揩食扭旗碍箱舌翌鹊胖盆收擅孕赚称金喊黄先龙界庙虞棕风热过蕉呜隧疾巩挞矛赋终菇爪翌叉吼困远搔锋锻聊逞髓钮锅贴丛感序信陌翟沙噪辉稗痔湍觅陪萄厂折下过虫祖诸衙斜释促睹汰峦膜育漂晋影尘渗

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