金属硫化物半导体薄膜的制备方法—in2s3纳米薄膜的制备及性能研究 毕业论文

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1、诚信声明本人郑重声明：所呈交毕业论文，是本人在指导教师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除文中已注明引用的内容外，本文不包含任何其他人或集体已经发表过或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律责任，结果由本人承担。　　　　　声明人签字：________________2013年5月25日目录第一章绪论11.1半导体纳米材料的概述11.2.1硫化物半导体纳米材料的基本特性11.2.2硫化物半导体的发展概况31.2.3硫化物半导体的制备方法41.3论文的研究目的和意义5第二章实验部分7

2、2.1实验试剂72.2实验仪器82.3实验方法8基底的预处理8APTSSAMs的组装8In2S3纳米薄膜的制备82.4实验表征9第三章结果与讨论103.1APTSSAMs对In2S3纳米薄膜的影响103.2络合剂对In2S3纳米薄膜的影响103.3In2S3纳米薄膜的晶体结构123.4In2S3纳米薄膜的光学性能12结论14参考文献15致谢17金属硫化物半导体薄膜的制备方法—In2S3纳米薄膜的制备及性能研究摘要本文以In2S3纳米薄膜作为研究对象，采用化学浴沉积法在组装有自组装单分子层的表面制备In2S3纳米薄膜，研究了自组装单分子层和络合剂TEA对I

3、n2S3纳米颗粒成膜情况的影响。结果表明：自组装单分子膜对高质量In2S3纳米薄膜的生成非常重要。In2S3纳米颗粒在APTS表面能形成颗粒尺寸均一，表面平整的In2S3纳米薄膜，而在裸露的ITO导电玻璃表面不能形成致密的薄膜；TEA对生成高质量的In2S3纳米薄膜有很大的影响，当铟源、硫源和TEA为1:3:2时，能生成非常致密的薄膜。同时考察了In2S3纳米颗粒在单分子层表面的成膜机理。关键词：In2S3，自组装单分子层，化学浴沉积ABSTRACTTakingIn2S3astheresearchobject,In2S3thinfilmswereprep

4、aredontheself-assembledmonolayers（SAMs）modifiedsubstratesbythechemicalbathdeposition.TheeffectsofSAMsandtheconditionofreactiononthedepositionofthethin-filmsmaterialweresystematicallyinvestigated.TheresultsdemonstratedthattheSAMsandcomplexingagent（TEA）playakeyroleinthedepositionof

5、In2S3thinfilm.ThecontinuousandcompactIn2S3thinfilmswithgoodadhesionwerepreparedonthesubstratemodifiedbyAPTSSAM,butnocompactfilmonthebareITOsurface.Moreover，compactfilmsweresuccessfullypreparedinthesystemwithmolarratioofIn3+，sulfurandTEA=1:3:2.ThedepositionmechanismsofIn2S3thinfil

6、monAPTSSAMssurfacesweresystematicallystudied.Keywords:In2S3,self-assembledmonolayer,chemicalbathdeposition第一章绪论1.1半导体纳米材料的概述早在1782年，A.Volta通过实验区分了导电性能介于金属和绝缘体之间的“半导体”，并在提交给英国皇家学会的一篇论文中首先使用“半导体”一词。现在随着社会的进步，半导体材料的应用已与每个人的生活息息相关。半导体材料的电阻率介于导体和绝缘体之间，依靠电子和空穴作为载流子导电。室温时，半导体电阻率约在10-5～1

7、07欧·米之间,它们一般具有负的电阻率温度特性，并具有光电导效应、光伏特效应及整流特性等[1]。因此，研究和开发新型的、高性能的半导体材料不仅具有重大的科学意义，同时也能够推动国民经济乃至人类文明的发展。因此，研究开发出性能优良的新型半导体发光材料俨然成为了迫切需要。二元或三元半导体硫属化合物如In2S3、NiSe、CuS、CuInS2等材料都是非常重要的半导体功能材料，其在太阳能电池、催化、发光、压电、磁性材料、线性非线性光学仪器等领域具有非常广泛的应用前景，是本领域研究热点问题。1.2.1硫化物半导体纳米材料的基本特性1.光学性质17硫化物半导体纳米

8、粒子所具有的超快速非线性光学响应和光致发光等特性倍受世人青睐。其独特的光学性能源