快速热处理制备硅太阳电池铝背电极

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1、浙江理工大学硕+学位论文快速热处理制备硅太阳电池铝背电极摘要太阳能是人类解决能源和环境问题的重要途径。硅基太阳电池凭借原材料丰富、安全无毒、转化效率高等优点，仍将在今后很长一段时间占据光伏市场的主体地位。进行硅太阳电池铝背电极制备，除完成载流子收集，与外界负载形成回路外，能有效对硅基体进行吸杂、钝化，改善电极与硅片间的欧姆接触，增加电池的长波光谱响应，从而有效提高电池的转换效率。采用快速热处理进行硅太阳电池铝背电极制备，缩短电池制备周期的同时，电池的转换效率也能相应得到提高。论文采用快速热处理进行了硅太阳电池铝背电极制备，系统地对不同热处理条件制备得到的电极，进行了表面形貌

2、、物相结构、表面成分以及铝背场性能分析，并对电极制备引发的硅片应力进行了测量和分析。研究发现：l、不同烧结工艺对电极表面形貌及物相生成有重要影响。采用快速热处理，铝硅相可在更低温度，经更短烧结时间生成。氮气气氛烧结，制备得到的铝背电极表面较常规热处理更为平整、致密、光滑；氧气气氛烧结，由于铝氧化、甚至氧化铝的生成，制备得到的铝背电极表面与常规热处理结果类似，制备得到的电极表面疏松。2、采用快速热处理，铝背场可在更低温度，更短烧结时间内形成。采用快速热处理制备铝背电极，形成的铝背场具有结深大，势垒高度合适，载流子浓度曲线变化陡峭等特点。3、对比常规热处理，快速热处理制备硅太阳

3、电池铝背电极，硅片将产生更大的残余应力，烧结气氛及烧结温度均对电极制备引发的硅片应力有重要影响。在8000C烧结，硅片残余应力表现为氮气>空气>氧气的规律；10000C烧结，硅片残余应力表现为氧气>空气>氮气的规律。关键词：硅太阳电池：快速热处理；铝背电极；应力浙江理工大学硕十学位论文PreparationofAluminumRearElectrodeforCrystallineSiliconSolarCellsbyRapidThermalProcessingAbstractSolarenergyisthebestchoicetosolveenergyandenvironm

4、entalissuesforhumanbeing．Duetotheadvantagesofnon-toxic，highconversionefficiencyandabundantsourcematerials，crystallinesiliconsolarcellswilltakemajorpartofsolarcellmarketforaquitelongtime．Besidescarderscollectionandformingcircuit、析tllexternalload，rearaluminumelectronprobeoncrystallinesilicon

5、solarcellCaneffectivelyperformthegetteringprocess，passivatethebase，improvetheohmiccontactbetweenwaferandelectrode，andenhancelongwaveresponseofsiliconsolarcell．Therefore，therearaluminumelectronprobecouldimprovetheefficiencyofsiliconsolarcells．Preparationofrearaluminumelectronprobebyrapidthe

6、rmalprocessing(RTP)mayimprovetheefficiencyofsiliconsolarcellaswellasshortenthefabricationprocess．Thethesisismainlyfocusedonpreparationofrearaluminumelectronproberapidthermalprocessing(RTP)．Thethesisreportsthesystematicstudyonthesurfacemorphologies，phasestructures，surfacecompositions，andpro

7、pertiesofbacksurfacefield(BSF)oftherearaluminumelectronprobepreparedbydifferentthermalprocessingconditions．Afterelectrodefabrication，residualstresswillbegeneratedinthesiliconwafer．Thethesisalsoreportsthestudyontheresidualstressofsiliconbasecausedbyrearaluminum