多功能组合传感器的研制

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1、电子科技大学硕士论文AbstractThesignalanddisplaycircuitsofmultifunctionalcombinedsensoraredesignedandresearchedbyanalyzingthesensitivemechanismoftemperaturesensor,humiditysensorandoxygensensor.Thestructureofhumiditysensorisdesignedthroughthedeeplyanalysisofthepolyimidecapacitivehumiditysensitivemec

2、hanism.Theeffectoffabricatingprocesso#humiditysensoronthepolyimidesensitivemembraneandthehumiditysensitivityareexploredanddiscussed.Andthehumiditysensorhasbeenfabricatedfinally.Thepolyimidecapacitivesensor,whichisfabricatedbythemethodsimilartostandardsemiconductorprocess,hasgoodlinearity

3、atlow(b.]%RH)tohigh(97.1%RH)relativehumidityrange.Themeasuredsensitivityforhumiditysensoris0A4Pf/%RI1.Thehysteresisanddielectriclosscharactersaremeasuredand礴iscussedThesensitivemechanismofmultifunctionalcombinedsensorismeasuredandanalyzed.Theoutputvoltagesignalsoftemperaturesensor,humidi

4、tysensorandoxygensensorcan比limitedfrom0to2V,andlinearizedtoenvironmentalchangebymultifunctionalcombinedsignalprocesscircuits.AlsotheA/Dconverteranddisplaycircuitsaredesignedandconstructedtoconvertsensors'analogsignalstodigitalsignalsThemultifunctionalcombinedsensorhasthefeaturessuchasmul

5、tiplefunction,smallsizeandhighprecision.Itcanbeusedinenvironmentdetect,medicgne,foodandtextile.rds:sensor,combined,temperature,humidity,oxygen,polyimide独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人己经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所

6、做的任何贡献均己在论文中作了明确的说明并表示谢意。签名:-l1.-日期:-WD3年。月，。关于论文使用授权的说明本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。(保密的学位论文在解密后应遵守此规定)签名:4/C。二厂鑫练日期:多犷，多年/;月to日电子科技大学硕士论文第一章前言I.I传感器的发展、国外研究现状及发展趋势传感器是能够感受规定的被测量并按照一

7、定的规律转换成可用输出信号的器件或装置，通常由敏感元件和转换元件组成川.敏感元件，是指传感器中能直接感受被测量(输入量)的部分;转换元件，是指传感器中能将敏感元件感受的被探测量转换成适于传输和(或)测量的电信号的部分，图I一I为传感器的组成原理。测量电路信号调节转换电路1一.!气图I一1传感器组成原理传感器技术具有如下特点:(I)涉及多学科与技术，包括材料科学、精密机械、微电子、微机械加工工艺、材料力学、弹性力学、计算机技术、物理学、生物化学、测试技术等。(2)品种繁多，被测参数包括热工量、电工量、化学量、物理量、机械量、生物量、状态量等