液相沉积法制备tiolt2gt薄膜的研究

《液相沉积法制备tiolt2gt薄膜的研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、昆明理工大学确：}论文摘要摘要随着氧化物功能薄膜在许多领域得到广泛应用，薄膜制各技术也得到了很大的发展。目前薄膜制备方法大致可分为物理制膜法和化学制膜法。在化学制膜法中，湿化学法因能量消耗低，环境影响小，而在如今环境和能源成为世界瞩目的问题之时倍受欢迎，被称为SOft．ProceSS(柔性过程)。近年来，在湿化学方法中发展起一种新的方法一液相沉积法(LiquidPhaseDeposition简称LPD)，1988年首次由Nagayama报道。该法最初用来制备siO2薄膜，以后得以发展，用来制备其他薄膜。用此法只需在适当的反应液中浸入基片，在基片上便会沉积出均匀致密的氧化物或

2、氢氧化物薄膜。成膜过程不需热处理，不需昂贵的设备，操作简单。鉴于有关对利用LPD法沉积Ti02薄膜的系统研究未见报道，但该方法在产业化和商业化方面存在的巨大潜力，因此我们开展了液相沉积制备TiO2薄膜的研究。本文研究在水的沸点以下，将基片浸渍在含有络台物离子【TiF6]2’和F’离子俘获剂H3803的溶液中，在基片上沉积出非晶和锐钛矿相TiO2薄膜。我们首次系统讨论了【TiF6]2。的浓度、反应物中Ti元素和B元素的摩尔比、沉积时阐、反应湿度以及热处理温度对沉积薄膜的结构和性能的影响，讨论了薄膜和反应沉淀物(Ti02)的光诱导超亲水性和光催化性。使用uV．Vis、XRD和S

3、EM等手段对薄膜和粉末进行了表征。研究结果表明：(1)氟钛酸铵((NH4)2TiF6)浓度在0．05～0．2m01／1范围内，可以沉积透明性薄膜；当其浓度低于0．011"1301／1时不能沉积出薄膜。(2)氟钛酸铵((NH4)2TiF6)与硼酸(H3BO3)的摩尔浓度比为1：2～6时可以制得透明性薄膜。(3)沉积透明性薄膜的温度范围为15～90℃。当温度低于l0。C时无法沉积出薄膜。(4)薄膜的厚度取决于【YiF6．。(OH)。】2’基团的相互聚合程度：出于该聚合作用在玻璃基片上带有～定的方向性，所以薄膜的结晶昆明理工大学硕士论文摘要具有一定的取向性。(5)制得的TiO2薄

4、膜无论热处理与否，均具有一定的光诱导超亲水性和光催化性。关键词：液相沉积透明Ti0。薄膜锐钛矿型超亲水性光催化性II垦塑些三查兰堡主丝苎塑!!!竺!ABSTRACTManykindsoftechnologiesofpreparationdfunctionalthinfilmareonthebrightwayofdevelopmentwiththeextensiveapplicationofoxidethinfilminmoreandmorefields．Inrough，thepreparationmethodscanbedividedintophysicalmethod，s

5、uchasthemethodofevaporation，themethodofsputtering，andchemicalmethod，suchasthemethodofCVD，themethodofsol—gelandthemethodofelectrodeposit．Usingchemicalmethodinpreparationoffilm，littleenergyneededandlittleinfluenceonenvironmentmade．Chemicalmethodiscommonreceptionandiscalledsoft—processastheat

6、tentionoftheworldisbeingdrawnbytheproblemofenvironmentandenergysourcestoday．Inrecentyears，onemethodcalledLiquidPhaseDeposition(LPD)wasdevelopedamongwetchemicalmethods．In1988，Nagayamafirstlyreportedthismethod．Afterimmersingsubstrateincertainsolution，uniformandcompactthinfilmofoxideorhydroxi

7、dewillbeobtainedonsubstrate．Duringtheformationofthinfilm，heattreatmentandexpensiveequipmentarenotrequired．Furthermore，theoperationoftheformationoffilmissimple．BecauseofresearchbeingdeficientinthepreparationofthinfilmbyLPD，nosystemicreportsonthepreparationofTi0