激光调阻系统及修调技术 毕业论文

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1、摘要片式电阻因其体积小、精度高、可靠性好等优点被广泛应用于许多领域，有替代传统电阻的趋势。片式电阻是通过丝网将电阻材料印刷到电阻基片上的，其阻值通常具有不大于40%的制造误差，一般采用激光调阻法对其阻值进行修调。调阻精度是衡量激光调阻性能的重要技术指标，由于我国在激光调阻方面的研究起步较晚，与国外设备相比，国产激光调阻机的调阻精度有待进一步提高。论文分析了影响激光调阻精度的因素，确定应用优化调阻控制策略的方法。实际数据表明，混合集成电路中采用的同一台激光调阻设备按照同一种精度要求微调电阻阻值时，实际调阻精度与被调电阻的阻值具有一定的相关性。提高调阻精度，而优化调阻控制策略的前提是准确掌

2、握激光调阻的阻值对调阻精度的影响，因此论文的研究内容为毕业设计的任务是基于数理统计原理，结合数值模拟方法，确定相关关系的定量表达式，并结合实测数据进行分析验证。关键词：激光调阻调阻精度线性拟合ABSTRACTForsmallvolume，highprecisionandwellreliability，thechipresistorshavebeenusedinmanyfields.Andthereisatrendthatthechipresistorwillfillinthetraditionalresistor.Resistormaterialisprintedonchipresis

3、torsusingsilkscreen.Sotheyhavethemanufactureerrorthatislessthan40%.Generally，usinglasertrimmingtoadjuststheresistanceofchipresistorsaccurately.Trimmingprecisionisanimportanttechniqueitemforlasertrimming.Thestudyoftrimmingprecisionisn’twelldoneinourcountry.Comparetoothercountry，thetrimmingprecisi

4、onofLaserTrimmingSystemmadeinourcountryneedtobeimproved.Firstly，thethesisanalyzestheitemsthataffectthetrimmingprecision.Anddeterminestoimprovethetrimmingprecisionbyoptimizingcontrolstrategyoflasertrimming.Theactualdata showthatthe hybridintegratedcircuit using the same laser trimmingequipment to

5、 fine-tune the requirements in accordance with thesame precision resistor,theactual transfer resistance precision resistor wastransferred to the correlation.Improve the accuracy of trimming,while optimizing thepremise of the trimming controlstrategy isthe accurateknowledgeof theresistance of the

6、 lasertrimming reversedresistance accuracyof the thesis for the graduatedesign tasks based on mathematicalstatisticaltheory andnumericalsimulation methods todeterminethe the correlationbetween quantitative expression,combinedwith themeasureddata foranalysisvalidation.KeyWords：LasertrimmingTrimmi

7、ng precisionLinearfit目录目录第一章绪论11.1引言11.2激光调阻51.3激光调阻系统及修调技术机理61.4切割图形71.5激光调阻机7第二章线性拟合的基本原理8第二章MATLAB的应用93.1matlab产生随机数123.2线性拟合和线性回归123.3拟合优度与检验14第四章实验原理194.1实验目的194.2试验分析204.3试验步骤21第五章实验过程215.1试验数据的获得215.2线性拟合过程255.3拐点计算与结