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时间:2019-02-12
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1、无尘布的测试方法用户主要通过擦拭布的材质、吸收率、洁净度和费用来评估无尘布。在半导体行业的洁净室中对无尘擦拭布尘粒、离子、ESD等有很高的要求。IEST-RP-CC004.3提供了一些评估无尘擦拭布的方法。无尘布需进行严格测试以达到性能要求和污染控制标准,一般无尘布需进行以下测试:▲抗磨损性测试通常,抗磨损性测试属于布料物理性质的测试。但在无尘布的测试中,因为磨损的过程会产生尘粒,因此,将无尘布的抗磨损性测试归纳为污染控制范围更合适。*测试标准:抗磨损性越强越不容易产生尘粒。▲基重根据ASTM-D-3776测试无尘布单位面积的重量*参考
2、测试标准:一般要求在150-300g/m2▲吸液量和吸液速度根据IEST-RP-CC004.3第8节要求,需测试无尘布的吸收量和吸收速率。吸液量反映的是单位面积的无尘布的吸收液体的毫升数。吸液速率是指无尘布吸收10ml液体所需的时间。以上两种测量都须测量三次并计算平均值*参考测试标准:吸液量一般不小于400g/m2吸液速度一般不大于1秒。▲IC测试根据IEST-RP-CC004.3第7.2节要求,定性定量地测量无机阴阳离子含量。*参考测试标准,在磁头行业,一般要求CL-≤0.03ug/cm2;SO42-≤0.03ug/cm2;NO3-≤
3、0.03ugcm2;Total:<1.0ug/cm2▲NVR测试根据IEST-RP-CC004.3第7.1节要求,测试单位面积上的不挥发性残留物。NVR测试是将无尘布浸泡于一定量的溶剂中一定量的时间,然后将无尘布取出,测试溶于溶剂中的不挥发性残留物的质量。*参考测试标准:在磁头行业,一般要求<3.0ug/cm2▲LPC测试根据IEST-RP-CC004.3第6.2.1节的要求,对无尘布进行LPC测试。LPC可测试无尘布上的液态尘粒数。LPC测试是将无尘布浸泡在一定量的DI水中,经过超声波振荡,检测DI水中的尘粒浓度。*参考测试标准:在磁
4、头行业,一般要求<30counts/cm2▲FTIR测试傅立叶变化红外光谱测试*参考测试标准:一般不允许有硅油、氨基化合物、增塑剂。▲GC测试GC测试是用来分析无尘布www.dgwsi.com上有机污染物种类和含量的一种方法。*参考测试标准:在磁头行业,要求Total:<10ug东莞和生工业服装有限公司整理编辑
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