光电探测器关键性能参数测试的研究

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1、大连理工大学硕士学位论文光电探测器关键性能参数测试研究姓名：贺成群申请学位级别：硕士专业：机械电子工程指导教师：金仁成20091201大连理工大学硕士学位论文摘要导航传感器作为重要的军事传感器不但在国民经济建设方面发挥着重要作用，而且在国防军事上有着极其重要的位置。本文结合国家重点基础项目研究973计划科研项目，在对光电探测器光谱响应度各测量方法进行比较和分析的基础上，详细阐述了光谱响应度测试系统的设计思想。该系统可在330nm---900nm的光谱范围内对光电探测器光谱响应度进行测试。测试系统的设计对于分析和改进光电探测器的制作工艺，提高探测器的性能参数具有极大地帮助。采用标准探测器替代

2、法，光谱响应度测试系统利用光纤传输光路，突破了探测器光敏面积影响光谱响应度测试这一技术难题，比传统的测试方法有更高的准确度。对手动单色仪SSM301进行了自动化控制设计，设计了步进电机驱动器，实现了分光系统对光源进行自动扫描，光谱扫描范围为330nm--900nm，精度可达----．0．1nm。利用VisualC++6．0实现了PC机与单片机的通信，开发了可视化操作程序界面，让用户可以方便直观地进行光谱响应度的测量工作。通过对光谱响应度的测试，讨论分析了误差的来源。运用了半导体参数测试仪4200一SGS对自制的探测器进行了暗电流和伏安特性的测试，发现了制作工艺的不足，为后期光电探测器的制作

3、提供了充足的科学依据。关键词：光电探测器；光谱响应度；暗电流；伏安特性光电探测器关键性能参数测试研究TheResearchonTestingKeyPerformanceParametersofPhotodetectorAbstractAsanimportantmilitarysensor,navigationsensorsplayanimportantrolenotonlyinthenationaleconomybutalsoinnationaldefense．TheworkofthispaperWaSsupportedbythenationalkeybaSicresearchprojec

4、tsof973plans．Havingcomparedvariousmeasuringmethodsofthespectralresponsivity，adetaileddescriptionoftestingthespectralresponsivityWaSgiven．ThetestingsystemCansupplyserviceforspectralresponsivityofphotodetectorsrangefrom330nmto900nm．Andthesystemisvitaltotheanalysisandimprovementofthephotodetectorspro

5、ductionprocess．What’smore，itplaysallimportantroleinimprovingperformanceparametersofphotodetectors．Thetestingsystem，whichWaSdesigned，takesadvantageofstandarddetectorssubstitution，withopticalfibertransmitinglightpath．ComparedwithtraditionalmethodsithaShigheraccuracy，moreoveritbreaksthroughthelimitit

6、ionofdetector’SphotosensitiveareatothemeaSurementofspectralresponsivity．Wedesignedasteppermotordrivesystem，thenthemanuallycontrolledmonochromatorSSM301WaScardedOutinsteadbyautomation．methods．TheopticalsplitsystemcontrolledbythestepmotorSCanStheopticalsourceautomaticallywithintheopticalspectralrang

7、efrom330nmto900rim，wit}ltheprecisionhigherthan±0．1nm．AchievingthecommunicationbetweenPCandMCU，developedvisualizationinterfaceallowsuserstorespondtothemeaSurementofspectralresponsibilityeaSilyandintuitively．Discus