可调谐fbar用bst薄膜介电性能的研究

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1、华中科技大学硕士学位论文3.4本章小结.............................................................................................344掺杂Rb的BST薄膜的研究..............................................................364.1引言......................................................

2、...............................................364.2Rb掺杂对BST薄膜微观结构的影响.............................................364.3Rb掺杂对BST薄膜介电性能的影响.............................................394.4本章小结.............................................................

3、................................455结论与展望...........................................................................................475.1结论....................................................................................................475.2展望......

4、...............................................................................................47致谢...........................................................................................................49参考文献.......................................

5、............................................................51V华中科技大学硕士学位论文1绪论1.1FBAR概述1.1.1FBAR研究背景随着时代的发展，人们对移动通信的需求急剧增加，传统的语音通话和收发短信已经远远不能满足人们的需要，高清视频、超清图片以及高速网上冲浪成为人们对移动通信的新需求。因此，继第一代第二代移动通信系统之后，第三代通信系统应运而生，到目前为止已经基本全面实现商业化，支持更高传输速率的第四代通信技术也在飞速发展，

6、有关第五代通信系统的实验室研究也已经在探索之中。移动通信日新月异的发展对所用射频器件的性能要求越来越高，不仅要求器件工作在更高的频率，拥有极低的功耗，而且对器件的微型化、集成化提出了新的要求。现代通信系统中的许多器件都已经实现了集成化，极大地减小了通信设备的体积，如低噪声放大器、混频器等均可以集成到射频电路中，但是一些无源器件尤其是射频滤波器的集成还比较难以实现。现代移动通信系统均需要射频滤波器来进行有用信号的选取，目前射频通信中常[1][2]用的滤波器主要包括：陶瓷介质滤波器、声表面波(SAW)

7、滤波器以及近年来方兴[3]未艾的FBAR滤波器。介质滤波器虽然具有较高的功率容量、非常低的插入损耗以及较高的Q值等，但是它的缺点也显而易见，大且笨重的体积、较低的工作频率以及无法集成化，越来越难以满足现代移动通信的需要。声表面波滤波器虽然具有较小的几何尺寸，相当高的优值因子，但是极细的叉指电极导致其不能承受较高的功率，除此之外声表面波的工作频率与叉指电极的宽度和指间距有关，由于现有工艺的限制，声表面波滤波器的工作频率一般不超过2GHz，而且它同样不能与现代成熟的半导体工艺兼容，严重限制了声表面波滤

8、波器的应用范围，同样不能满足现代移动通信微型化、集成化的要求。而FBAR作为一种新发展起来的滤波器，它不仅兼有介质陶瓷滤波器功率容量大、损耗低的优点，而且还具有声表面波滤波器小尺1华中科技大学硕士学位论文寸、高优值因子的特点，同时它的最高工作频率可以达到20GHz，更为重要的是它可以与现代半导体工艺兼容，可以满足滤波器集成化的要求，因此，薄膜体声波滤[4]波器被认为具有极大的发展潜力，表1-1列出了三种滤波器技术的优缺点。表1-1介质陶瓷、声表面波、薄膜体声波三种滤波器的比较Cer