超声引线键合过程俯仰振动的小波分析

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1、中南大学硕士学位论文摘要摘要本文以超声键合实验平台为基础，围绕劈刀安装长度、键合压力等不同工艺参数对引线键合质量及超声换能系统的影响展开。利用PSV-400．M2扫描式多普勒测速仪及其信号采集系统对换能系统振动、电信号加载情况进行了非接触精密测试和实时监测，并采用Dage4000多功能焊接强度测试仪对键合强度进行检测；同时利用小波分析方法对实验获取的振动及电信号进行了时频联合分析。主要内容如下：(1)通过大量实验，考察了工艺参数劈刀安装长度、键合压力对超声引线键合强度的影响，发现了较好的劈刀安装长度及键合压力范围。(2)研究了工艺参数劈刀安装长度、键合压力对换能系

2、统特性的影响，采用时域统计的方法描述了基板振动、换能系统振动(本文主要为变幅杆俯仰振动)及其电信号加载状况在这两种工艺参数改变时的变化情况；比较分析了超声引线键合强度与基板振动、换能系统振动及其电信号加载状况的相对变化趋势。(3)针对单纯时域、频域分析方法的不足，采用小波分析方法对劈刀不同安装长度、不同键合压力下基板振动、换能系统振动(本文主要为变幅杆俯仰振动)及其电信号进行时频联合分析，展示了引线键合过程中这些信号在时频面内各频率段的变化特征，为深入理解隐含在时变加载过程内部的信息提供了途径。本文以大量实验为基础，展示了劈刀安装长度、键合压力等工艺参数对键合质量

3、及换能系统特性的影响，为今后键合中劈刀安装长度、键合压力的选择提供了参考，为键合动态模型的建立提供了依据。关键词：超声引线键合、劈刀安装长度、键合压力、小波分析ABSTRACTThispaperwasbasedontheultrasonicbondingflatanditwasmainabouttheinfluencetothebondingqualityandthecharacteristicofultrasonicwirebondingsystemwhichcamefromdifferentcapillarymountedlengthesandbondingp

4、ressures．ThevibrationofultrasonictransduceranditspowerinputwerecollectedbyPSV-400一M2LaserDopplervelometeranditssignalcollectionsystem．ThebondingstrengthwastestedbytheDage4000Machine．Thesignalsofvibrationandelectricitywereanalysedbywavelet．Thispapermainlyincluded：(1)Throughamassofexper

5、imentstheinfluencetobondingstrengthbydifferentcapillarymountedlengthesandbondingpressureswereobserved，andthegoodrangesofcapillarymountedlengthesandbondingpressureswereobtained，atthesametimeseveralexplanationstothephenomenaweregiven．(2)Theinfluencetobondingqualityandthecharacteristicof

6、ultrasonicwirebondingsystemwhichcamefromdifferentcapillarymountedlengthesandbondingpressureswerediscussed．Thevibrationofsubstrate，ultrasonictransduceranditselectronicsignalwiththechangesofthetwocomponentsweredescribedbyusingthetime-domainstatisticmethods．Thevarietytrendofultrasonicwir

7、ebondingstrengtheswiththevibrationofsubstrate，ultrasonictransduceranditselectronicsignalwasdiscussed．(3)Becauseofthelimitationofthetime—domainorfrequency—domainmethods，waveletanalysisisusedtoanalyzethevibrationofsubstrate，ultrasonictransduceranditselectronicsignalwithdifferentcapillar

8、ymoun