新型宽量程真空计的研制

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1、摘要真空计是一种真空测量仪器它在科学研究和工业生产中应用广泛论文第一部分讲述了真空计的发展现状并对真空计的分类和发展趋势进行了介绍第二部分详细地讲述了电阻真空计和热阴极电离真空计的测量原理和工作电路并由此提出了一种新型宽量程真空计的设计方案在当前测量宽范围真空环境的场合国内外常用仪器是模块复合真空计和规管复合真空计模块复合真空计是指每只规管的电路部分都制作成一个模块然后将这些模块组合在一起成为一台多规真空计这种真空计的应用在只能使用单一规管测量的场合受到了限制规管复合是指将几只测量范围不同的规管制作在一个管壳内在测量不同的真空度时

2、选用相应测量范围的规管如同使用一只单一规管但是这种真空规管制造工艺复杂价格昂贵且不同的规管灯丝会相互产生干扰影响测量精度不同于上面提到的两种复合式真空计我们设计的新型宽量程真空计是在一个ZJ-2型的标准电5离规管上实现电阻和热阴极电离两种不同的测量方式从而实现了从1.01.0Pa-51.010Pa的宽量程测量范围论文的第三部分详细的介绍了新型宽量程真空计的硬件及软件的研制和调试过程硬件部分讲述了控制电路工作电源显示模块采样模块通讯模块保护电路等的原理和设计过程软件部分重点讲述了单片机与计算机程序流程和串行通讯协议的具体实现在论文的

3、结尾部分对整个新型宽量程真空计的设计进行了总结关键词真空计真空测量单片机电离规管IAbstractVacuumgaugeisakindofvacuummeasuringinstrument.Itiswidelyusedinscientificresearchandindustrialprocess.Thefirstpartofthispaperintroducesstatus,speciesandtrendindevelopmentofthevacuumgauge.Thesecondpartofthispaperpresentst

4、hetheoryandtheoperatingcircuitoftheelectricresistancegaugeandthehot-filamentionizationgauge.Thenwebringforwardadesignschemeofanewwide-rangevacuumgauge.Atpresent,modulecomplexvacuumgaugeandsensorscomplexvacuumgaugearewidelyusedwhenpeoplemeasuringawiderangevacuumenviron

5、ment.Modulecomplexvacuumgaugemeansthecircuitofthedifferentsensorsaremadeofdifferentmodule.Andthesemoduleareassembledamulti-sensorvacuumgauge.Theuseofthiskindofvacuumgaugearerestrictedonsomeoccasionwherethereisonlyonesensorcanbeused.Sensorscomplexvacuumgaugemeansthesen

6、sorsofthedifferentrangeofthevacuumareintegratedinoneshellofpipe.Itcanbeusedassameasonesensor.Butthefabricationprocessofthiskindofsensoriscomplexanditisexpensive.Otherwisethedifferentsensorswillinterfereeachotherandimpactthemeasurementaccuracy.DifferentIIfromthetwokind

7、ofthecomplexvacuumgaugeourdesignofthenewwide-rangevacuumgaugemeasurethewiderangeofthevacuumfrom5-51.01.0Pa1.00Pabyusingthemethodoftheelectricresistancegaugeandthehot-filamentionizationgaugeinastandardZJ-2hot-filamentionizationsensor.Thethirdpartofthispaperexplainsthed

8、esignanddebugofthehardwareandsoftwareofthenewwide-rangevacuumgauge.Theparagraphabouthardwareintroducesthetheoryanddesignproc