水溶液法zno薄膜的生长和形貌控制

水溶液法zno薄膜的生长和形貌控制

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时间:2019-02-06

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1、中文摘要ZnO是一种重要的II一Ⅵ族半导体化合物,能广泛应用于光电领域。本文采用水溶液生长法,以硝酸锌和氨水为前驱生长液,通过衬底表面晶种层的外延生长方式,制备了高取向的六方纤锌矿氧化锌(ZnO)纳米/微米棒晶阵列薄膜。研究了znO棒晶在水溶液中外延生长的机理。考察衬底微结构、生长时间和初始锌离子浓度等对ZnO棒晶尺寸的影响。在生长溶液中添加硝酸镉,通过调节生长液中硝酸镉的浓度、pH值、硝酸镉的加入方式以及生长时间等考察了对ZnO薄膜形貌的影响。在生长溶液中加入氯化钠、柠檬酸钠、硝酸铵以及氟化铵研究了ZnO薄膜形貌的变化。利用XRD、SEM、EDS、FEsEM、TE

2、M和HRTEM等方法分析和表征了制得的ZnO薄膜的物相组成、晶体形貌和组织结构等。实验发现在氨水体系中加入硝酸镉,由于静电力作用,到正电的【Cd州H3)6】2+与[zn(NH3)4】2+竞争吸附于znO晶体(000了)负极性面,迫使大量[zn州H3)4】2+吸附于zno晶体的(1000)和(1010)晶面,导致棒径方向的生长速率增大,制备出直径高达700nm的znO棒晶,棒晶之间相互嵌合生长,得到了高取向、高致密度的ZnO多晶取向薄膜。生长溶液中加入柠檬酸钠后制备出片状ZnO;加入氟化铵后制各出针状ZnO。本文通过考察晶种层衬底微结构、生长时间和初始锌离子浓度等研究

3、了水溶液法znO的外延生长规律。实验结果表明:排列整齐一致的ZnO纳米棒晶阵列的制备需要衬底表面涂敷ZnO晶种层;随着生长时间的增加,棒的尺寸增大;生长液初始锌浓度主要影响棒的c轴方向的生长速率,浓度的增大有利于ZnO棒晶阵列的致密度以及整齐度;生长液中加入硝酸镉后,随着初始镉离子浓度的增加,棒径从~180nm增至~400nm;增大初始pH值后,Zn0棒晶的尺寸无明显变化,但薄膜由致密变的疏松,原因是小棒径的ZnO棒晶溶解;ZnO在原Zn州03)2/NH3·H20体系中生长lh后再置入【Zn洲03)2、Cd州03)2]/NH3·H20生长体系,随着二次生长液中镉离子

4、浓度由O.012M增至0.03M时,棒径从~300nm增至~700nm,且相互嵌合生长在一起,出现棒晶二次生长的现象。通过在生长液中添加Cd(N03)2,可实现大范围棒径尺寸的调节,其棒径的范围为~180nm至,700nm,并能制备出高取向、高致密度的ZnO多晶薄膜。关键词:ZnO;Cd州03)2;水溶液生长法;纳米/微米棒晶薄膜;片状;针状;ABSTRACTZincOxide(ZnO)isanimponantII一Ⅵgroupsemiconductingmaterialwhichcanbewidelyusedinphotoelectricfleld.Inthisp

5、印er,well—alignedandorientinghexagonal、vurtziteZnOnaulo/micro—rodarrayswerepreparedbytwo·stepaqueoussolutiongro、vthmethodusingzincnitrateandammoniaasprecursors.Thegro、^,thmechanismofrodc巧stalfilmswasinVestigated,andeffbctsoftheprocessingpa姗eters,suchaSseedsurfaceofsubstrate,gro、mhtimean

6、dprimaryzincconcentrationwerealsostudied.Moreover,r01eofCd(N03)2additionintogrovvthsolutionwereanalyzedbyadjustingCd(N03)2concentration,pHvalueofgrowthsolution,addedmannerofCd(N03)2and伊owthtime.CUstalstmcture,chemicalcompositionandsu—’acemo叩hoJogyofZnOnlmswerecharacterizedbyXRD,SEM,EDS

7、,FESEM,TEMandHRTEM.InVestigationint0ZnOseed1ayer,growthtimeandprima拶zincconcen仇ltionongro、vthofrodc拶stalsindicatedthatZnOseedlayerwascTlJcialforgro、Vthofwell-alignedZn0nanorodamy.Rodsizeoffilmswereincreasedwithprolonggr0、汕time.Prima叫zincconcentrationmainIya舵ctgro叭hrateincaXisdirectio

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