图案化aao模板恒流法制备及应用

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1、摘要本文采用恒电流密度氧化法，控制电流密度，氧化时间，及氧化温度在不同电解液中制备了不同孔径高度有序的AAO模板。随着电流密度的增大，孔径提高较大，厚度增大；随着氧化时间的延长，孔径会有小范围的提高，但不明显，但孔的有序程度会有所提高，膜的厚度在一定范围内，也会有较大提高，但时间提高到到一定程度时，膜厚将不再增长发生溶解。恒流一定值后模板的有序性会下降，但总体效果还是不错的，厚度大，有序性高。确定了最佳氧化条件。最佳氧化条件为：在0．3mol／L草酸中恒流8mA氧化。此外，还分别以铝片，玻璃片和AAO模板为基底，使用BP-212型

2、紫外正性光刻胶，进行光刻工艺条件的研究，找到了在本实验条件下的稳定光刻工艺。最佳的光刻工艺条件为：匀胶量为0．2ml，匀胶低速转速为600r／min，时间为5s，高速转速为2500r／min，时间为30s。前烘时间为15min，曝光时间为50s，显影时间为20s，后烘时间15min。采用紫外线光刻技术在铝片上生成了预设图案，利用恒电流密度氧化法制备了高度有序的AAO模板。用物理浸润的方法在此图案化的模板上生长聚苯乙烯一维纳米结构。并采用电位沉积法，制备了Cu的图案化的一维纳米结构。采用扫描电子显微镜(SEM)和X射线衍射能谱(ED

3、S)对图案的模板，聚苯乙烯Cu一维纳米结构进行分析。测试结果表明，通过此方法在模板上制备的图案是由直径为5um的圆形组成的，圆形图案之间的距离也是5

4、lm。制备出的图案化的聚苯乙烯，Cu纳米线阵列，完全复制了掩模上的图案。关键词：恒电流密度；紫外光刻：图案化模板；纳米线阵列；青岛大学硕士学位论文AbstractThearticleadoptstheconstantcurrentdensitytoprepareanodicaluminumoxide(AAO)templatewithdifferentdiameterindiffere

5、ntsolutionoftheoxalicacidandthephosphoracid．Thediameterandthicknesswillaccretewiththeincreasingcurrentdensityindifferentacid．Theywillbebiggerwiththeincreasingoxidationtime，whiletheregularitywillbebetter．Thoughregularitywillbeworseafterthecurrentdensitygettingahighvalu

6、e，thewholequalityisgood．Determinethebestofconditionsis：AAOpreparedwiththeconstantcurrentdensityof8mAintheoxalicacid．Inthispassage，thesteadyphotoetchingtechnologyofBP一212positivephotoresistisresearched．BP-212positivephotoresistisusedinpattemingaluminumplate，glassandano

7、dicaluminumoxide(nno)templates．Thebestphotoetchingtechnologyconditionsarefllowing：thespinphotoresistvolumeis0．2ml；thelowrollingspeedis600r／minandspinning5second；thehighrollingspeedis2500r／minandspinning30second；thetimeofprecedingdryingis15minute；thetimeofexposureis50s

8、econd；thetimeofafterdryingis15minute．Ultravioletradiation(UV)photolithographicmethodsareutilizedtoformsetpatternsontoporousanodicaluminumoxide(AAO)templates．Then，polystyreneone-dimensionalnanostructuresarepreparedbydepositingasolutionofpolymerintothismodifiedtemplate．

9、Cuone-dimensionalnanostructuresarealsopreparedbydepositingasolutionofCuS04intothismodifiedtemplate．BP-212positivephotoresist