压电驱动器控制系统的研制

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1、电子科技大学硕士学位论文ABSTRACTDuetomanometergradeofresolutionandfastresponsespeedofpiezoelectricactuator,ithasextensiveapplicationprospectsinmanyfieldssuchasprecisionmechanicsandmicroelectronic.Howeverbecauseofitsnon-linearpropertyandthelimitationofdisplacement

2、,piezoelectricactuatorislimitedinmuchmorepracticalapplicationfieldsThisprojectisapre-researchsubjectagainsttotheshortcomingsofpiezoelectricactuatordriver,whichsetsuppiezoelectricitynon-linearmodelofpiezoelectricactuatoranddesignsakindoftypemechanicals

3、tructureofstep护ngactuatordriver.Whilehavinghigh一二olution,theactuatordriverhasoverturnoflongdisplacementandoutputpower.Atfirstthisdissertationintroducestheprincipleandcharacteristicofthepiezoelectricactuatorandanalyzesthenonlinearmodelofpiezoelectricac

4、tuatornowadays.-Accordingtointernalandexternalringdisplacementcurvefunctionrelationofpiezoelectricceramicactuator,precisemodelisproposed;thendesignsonesimplemechanicalstructureofsteppingactuatordeviceandanalyzes-theirfeasibility妙thesoftwareemulation;f

5、inallydesignsMCS-51controlcircuitincludingDIAandA/Dconvertercircuitanddevelopsadynamicdrivinglinepowerforpiezoelectricceramicactuatorbyutilizingexcellentperformancehighvoltageamplifier.Inconclusion,thepiezoelectricactuatorsystemwithhighaccuracyandlong

6、displacementiscompleted妙assemblingtheseparts.Keywords:PiezoelectricactuatordeviceNonlinearmodelPoweramplifierMicrocontroller独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人己经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工

7、作的同志对本研究所做的任何贡献均己在论文中作了明确的说明并表示谢意。签名:-''(!}}/1一日期:2"O0y4f-z月,-}H关于论文使用授权的说明本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。(保密的学位论文在解密后应遵守此规定)、尸门饰签名，IZAL-导师签名日m.7,0U

8、电子科技大学硕士学位论文第一章序言1压电定位技术的研究背景压电效应的研究早在1883年PierreCurie就己经发现，到目前已经有100多年的历史。利用其性质所制造出的器件已经广泛应用于人们生活当中。而压电驱动器(PiezoelectricCeramicActuator)应用在微定位和微操作只是在近几十年间，由于其自身优越的特性(高分辨率、高响应速度川)，在大规模集成电路光刻设备、超精密机械加工、生物基因操作以及纳米级分辩力的测量仪器中具有极其广泛的应用前景。微定位技术的重要意义