光栅相位补偿技术的研究

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1、摘要光栅测量技术是以对光栅形成的莫尔条纹计数为基础的高精度测量技术。对光栅传感器的输出信号进行相位误差补偿是提高光栅测量精度的一种经济有效的方法。本文基于光栅传感器信号的特点及信号细分技术设计了光栅相位误差补偿系统。本文首先对国内外光栅测量技术的现状、误差补偿技术的发展趋势进行了系统地概述。在理论研究部分介绍了光栅莫尔条纹的产生机理及特点，叙述了光栅传感器测量信号的误差产生机理以及常用的校正的方法。结合本课题研究的技术要求，选择了最佳的相位误差补偿方案，并对其进行了适当的改进，建立系统误差模型，通过工程软件对误差校正系统进行初步建模。探索了相位补偿系统实现方法，根据课题的理论

2、基础选定了实现方法，提出了系统的设计方案，并将其应用于硬件电路系统及相关软件系统的设计中。所设计的以FPGA为处理核心的光栅相位补偿系统，能够使两路非正交的信号经过相位补偿实现正交，提高光栅的细分准确度，增强条纹测量技术的环境适应性和抗干扰能力。本课题的研究成果可应用于工程与生产之中，提高光栅测量技术精度，具有良好的实际应用价值。关键词：光栅相位补偿FPGAAbstractGratingmeasurementtechnologyisahighprecisionmeasurementtechnologybasedoncountingtheMoirdfringescreatedb

3、ythegratingmoving．Andthesubdividingofthegratingsignalisoneofthemosteconomicalandeffectivemethodtoimprovetheprecisiongradeofthemeasurementtechnology．Thepaperisapplyingitselftoresearchphasecompensatingsystemforgratingsignalonthebasicofgratingsignal’Scharacteristicandsubdividingtechnology．Atfi

4、rst，onthebasisofsystematicalanalyzingoftheintemalandexternalappliedstatusofgratingmeasurememtechnology，thepaperiscenteringontheresearchfxuitandthedevelopmenttrendoftheelectronicsignalsubdividingtechnique．Inthepartoftheoryresearch，thegenerationprincipleandsignal’Scharacteristicofmoirdfringes

5、isbeingintroduced，andthenexplaintheconceptofsignalsubdividingandtheapplicationmeaningofthetheory．Afterthetheoryexplanation，thepaperilluminatessomemainstreamsignalsubdividingmethodswhicharebeingusedwidelyinengineering，andcomparesthembyso．metechnicalaspectsindetail．Combiningwiththetechniquere

6、quirementofourproject，wechosethebestollebymakingtheschemewithfurtherimprovement,andplantitinthesystemdesign．InordertocompensatephasequadratureerrorofGratingsignals，thegratingsensorphasecompensatingsystemisdesignedinthisPaperwhichisbasedonFPGA．ThesimulationExperimentshowsthattheinterpolation

7、fatorisobviouslyraisedafterintroducingthecompensatingsystem．ThefruitoftheresearchCanbegreatlyappliedintheengineeringprojeetandproduction,anditwilldramaticallyimprovethegratmgmeasurementprecision．Keywords：GratingsensorPhasecompensationFPGA2长春理工大学硕士学位论文原创性