连续太赫兹反射扫描成像分辨率测量实验研究

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1、第38卷第10期中国激光Vol.38,No.102011年10月CHINESEJOURNALOFLASERSOctober,2011连续太赫兹反射扫描成像分辨率测量实验研究丁胜晖李琦李运达王骐(哈尔滨工业大学可调谐激光技术国家重点实验室,黑龙江哈尔滨150081)摘要图像空间分辨率是太赫兹(THz)成像系统的重要技术参数。为了测量系统的分辨率特性,仿照ISO12233标准制作了星形分辨率测试卡。通过对测试卡进行成像,将成像结果进行简单的处理即可获得系统在不同方向上对不同空间频率方波

2、的响应曲线,从而测得系统的调制传递函数。利用自制的分辨率测试卡在已建立的THz点扫描反射成像系统上进行了实验研究,对系统的分辨率特性进行了测量及分析。最终测得该系统的分辨率为1.273lp/mm,对应的线宽为0.393mm,测量结果与刀口法所得结果较为一致。分析表明,利用星形分辨率测试卡能够方便地对系统的分辨率特性进行测量分析,直观、准确地得出系统的分辨率上限。关键词成像系统;太赫兹成像;分辨率;星形测试卡中图分类号TN29文献标识码Adoi:10.3788/CJL201138.10

3、11001ExperimentalResearchonResolutionMeasurementofaContinuous-WaveTerahertzReflection-ModeScanningSystemDingShenghuiLiQiLiYundaWangQi(NationalKeyLaboratoryofTunableLaserTechnology,HarbinInstituteofTechnology,Harbin,Heilongjiang150081,China)AbstractS

4、patialresolutionisanimportanttechnicalparameterforterahertz(THz)imagingsystem.Tomeasuretheresolutioncharacteristicoftheimagingsystem,aSiemensstarforresolutionmeasurementispreparedaccordingtoISO12233.ByimagingtheSiemensstar,multidirectionalsquarewaveresp

5、onsefordifferentspatialfrequenciescanbededucedfromtheimagingresults,thusobtainingthesystemsmodulationtransferfunction(MTF).ResolutionmeasurementexperimentbasedontheSiemensstariscarriedoutonaTHzreflection-modescanningimagingsystem.Thesystemsresolutionc

6、apabilityismeasuredandanalyzed.Themeasurementresultshowsthatthesystemsresolutionis1.273lp/mm,andtheresolvablelinewidthis0.393mm,whichisconsistentwiththemeasurementresultbyknifeedgemethod.ThestudydemonstratesthattheSiemensstaroffersaconvenientapproachto

7、measurethesystemsimagingresolutioncapability.Thesystemsresolutionupperlimitcanbeobtainedpreciselyanddirectly.Keywordsimagingsystems;terahertzimaging;resolution;SiemensstarOCIScodes110.6795;220.4840;110.2960[6~9]1引言射成像具有较为广泛的应用空间,对THz反射成像的研究十分必要。目

8、前研究的THz反射成像太赫兹(THz)成像是当今成像技术的前沿课题大多采用飞秒激光器、自由电子激光器和CO2激光之一,备受关注,其中大多数是关于THz透射成像的研究[1~5]。在许多实际应用中,例如需要对地下抽运气体激光器作为光源。前两种激光器设备复杂和空中目标进行成像时,或者兴趣目标与其背景的难于推广应用,而CO2激光抽运气体激光器体积小、易于操作,是目前应用性较强的THz辐射源。透射性能很差时(如金属、水),无法进行透射成像,只能借助于反射成像获得相

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