基于光刻机软件系统的自动化测试框架设计与实现

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1、．摘要光刻机是光刻工艺中最重要的设备，是诸多现代科技高度集成的产物，这些技术包括：物理、光学、化学、材料科学、精密机械、精密控制、工程学、软件工程学、计算机科学等等。光刻机的软件部分作为光刻机的灵魂，其复杂程度远远超过一般应用软件。要保证光刻机软件可靠运行就必须经过大量的软件测试。本文主要设计和实现了一个基于光刻机软件系统的自动化测试框架，是一种跨平台的系统测试架构体系，用于在windows平台上测试位于其他各种平台上运行的使用C／C++语言编写的接口函数，并在光刻机软件测试中取得了良好的应用。本文首先介绍了光刻机软件的系统架构，并对光刻机软件系统开发以

2、及自动化软件测试的国内外现状进行了说明。接着，阐述了自动化测试的原理以及自动化测试过程，并详细分析了测试用例的设计原理和测试结果评估理论。之后，根据光刻机软件系统的特点，对自动化测试框架进行了功能和性能的需求分析。在此基础上完成了基于光刻机软件系统的自动化测试框架的设计和实现，包括了测试框架运行平台和开发工具的选择、测试框架的模块化分析和设计，并详细说明了各个模块的设计和实现流程以及在设计和实现过程中所要解决的问题。最后，使用光刻机软件系统中的数学库模块作为测试对象对自动化测试框架运行时的功能和性能进行大量的实验并进行对比分析，该数学库模块包含105个个

3、不同类型数学函数，结果表明本文所设计和实现的自动化测试框架在针对光刻机软件系统进行测试过程中与其他测试方法和测试工具相比，在测试效率、运行性能以及灵活性方面有着显著地优势。关键词：光刻机；软件测试；自动化测试框架AbstractLithographymachineisthemostimportantdeviceinLithographytechnology，anditistheresultofintegrityofseveralmodernscienceandtechnologysuchasphysics，optics，chemistry，materia

4、lscience，precisionmechanics，engineering，softwareengineering，computerscience，etc．ThesoftwarepartofLithography,thesoulofLithographymachine，ismuchmorecomplicatedthananyothergeneralapplicationsoftware．ToensurereliabilityservicebysoftwareofLithography，ithastobesubstantivelytested．Thet

5、hesismainlydesignandimplementanautomatictestingframeworkbasedonLithographysoftwaresystemwhichisacross—platformsystemtestingarchitectureusedtotestinterfacefunctioncompliedbyc}c++languageoperatedonalltheotherplatformslocatedonwindowsplatform，anditachievedgoodapplicationinLithograph

6、ysoftwaretesting．ThethesisintroducessystemframeworkofLithographysoftware，andillustratethesystemdevelopmentofdomesticandintemationalautomaticLithographysoftwaretesting．Afterward，thethesiselaboratestheprincipalandprocedureofautomatictesting，andanalyzesthedesigntheoryoftestingcasesa

7、ndevaluationtheoryoftestingresults．ThefollowingisthefunctionandperformancedemandanalysisofautomatictestingframeworkaccordingtothefeatureofLithographysoftwaresystem．Onthisbasis，thethesiscompletedwithdesignandimplementofautomatictestingframeworkofLithographysoftwaresystem，including

8、thechoiceoftestingframeplatformanddevelo