用visualbasic6.0编程实现显微图像测量

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1、用VisualBasic6.0编程实现显微图像测量余厚云邓善熙杨永跃丁兴号摘要：VisualBasic6.0具有强大的图形图像处理功能，并广泛应用于图形设计、图像处理及多媒体技术中。本文着重介绍了VisualBasic6.0在实现显微图像测量中的编程技术，并应用于半导体芯片尺寸测量。关键词：半导体芯片，显微技术，图像测量，VisualBasic6.0编程Themicro-measurementofimagebasedonVisualBasic6.0programmingAbstract:VisualBasichasastrongfunctioninimageprocessinga

2、nditiswidelyusedinthedesignofgraph,imageprocessingandmultimedia.ThispaperfocusesontheVisualBasicprogramminginthemicro-measurementofimage.Theresearchresulthasbeenusedindimensionmeasurementofsemiconductorwafer.Keywords:semiconductorwafer,micro－technique,imagemeasurement,VisualBasicprogramming1．

3、引言在信息时代，半导体集成器件制造业快速发展，对半导体器件的检测提出了越来越高的要求。其中显微图像的测量是一个关键问题。本文着重讨论了VisualBasic6.0在实现显微图像测量中的编程技术。VisualBasic语言简单易学，其可视化的用户界面设计功能，把程序设计人员从烦琐复杂的界面设计中解脱出来。VisualBasic6.0通过大量的绘图函数为图形图像处理提供了强大的功能，使得它在图形图像处理领域有着广泛的应用。显微图像的处理作为图像处理领域的一个重要组成部分，不仅具有一般图像处理的特点，而且在图像处理的内容上更具自己的特色。这其中，对于整个显微测量系统的标定又是尤为重要的

4、一个内容。本文在通过对VisualBasic6.0编程和显微技术以及图像处理技术等进行认真研究的基础上，给出了VisualBasic显微图像处理及测量程序，实现了对半导体芯片的显微测量。具体来说，显微系统首先将被测对象放大，并成像于CCD的靶面上。接下来，CCD将所捕捉到的图像通过图像采集卡送到计算机，最后由计算机实现对所拍摄到的显微图像进行处理和测量。这里计算机对图像的处理和测量的编程运用的都是VisualBasic6.0语言。2．实现方法（1）读入图像计算机通过采集卡采集到图像后，VisualBasic的第一个任务就是读入该图像，这是进行进一步处理的前提条件。由于计算机是以位

5、图形式保存所采集到的图像的，因此可以按如下程序使用对话框CommonDialog将图像读入图片框PictureBox。PrivateSubOpen_Click()OnErrorGoToErr_HandleCommonDialog1.Filter="picture(*.bmp)

6、*.bmp"CommonDialog1.ShowOpenPicture1.Picture=LoadPicture(CommonDialog1.FileName)Err_Handle:EndSub（2）二值化处理在读入图像后，我们现在要做的工作就是将上面读入到PictureBox控件中的图像进行必要的处理，以

7、满足进一步测量的要求。其中最重要的，也是必不可少的就是对PictureBox中的图像进行二值化处理。二值图像处理在图像分割、图像测量中有着广泛的应用。所谓二值化就是将原来的灰度图像转换成只有黑和白两种颜色的图像。对于大多数灰度图像来说，图像中的物体和背景是有明显区别的，通过选择阈值，区分图像和背景，以便对物体进行处理。具体的二值化程序段如下：Fori=0ToPicture1.ScaleWidth-1Forj=0ToPicture1.ScaleHeight-1c=Picture1.Point(i,j)r=(cAnd&HFF)Ifr>TValueThenPicture1.PSet(i

8、,j),RGB(255,255,255)ElsePicture1.PSet(i,j),RGB(0,0,0)EndIfNextjNexti其中，Tvalue为二值化的阈值，该阈值可以人为设定，也可以由程序用统计的方法计算得到。当图像颜色分解后的r值大于该阈值时，二值化的结果为白色，当图像颜色分解后的r值小于该阈值时，二值化的结果为黑色。（3）显微系统的标定无论是显微图像测量还是一般的图像测量，我们都需要对整个测量系统进行标定。标定的方法很多，通常最常用的就是标准件标定法。对于本文所