大气压辉光放电研究现状及应用前景!

《大气压辉光放电研究现状及应用前景!》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在工程资料-天天文库。

1、前沿进展!大气压辉光放电研究现状及应用前景"张!锐!!刘!鹏!!詹如娟（中国科学技术大学近代物理系!合肥!#$%%#&）摘!要!!大气压辉光放电由于均匀性好、能量效率高并且不需要真空系统，正日益受到人们重视和研究’文章综述了大气压辉光放电的研究进展，包括实验条件、放电特征、放电机理以及最新的诊断方法，还介绍它在薄膜沉积、材料表面改性、污染物质的消毒去污等方面的应用前景’关键词!!大气压辉光放电，均匀性，低温等离子体!"#"$%#&’#(()*+#"*,&(-,%(.+"%,/#"0,%(1.-*+(-.%%$-.2),3’*%+1#-2.%"$’*.

2、%()*+,-./!!0123456!!()*+-.78.95"（!"#$%&’"(&)*+),"%(-./0120，3(14"%01&/)*521"(2"$(,6"2.()7)8/)*9.1($，:"*"1#$%%#&，9.1($）45%"-#+"66-4:45;<=;>4?4>9@A445/5:?49@/56/5;4?4@;/59;BC@D>4?/:D?4@@.?469?64@=@;4B@A47:9.@4;>4=>9G46CCF.5/HC?B/;=，>/6>454?6=4HH/:/45:=95FFC5C;544F>/6>G9:..

3、B@=@;4B’I4@.BB9?/J4?4:45;F4G44?/:D?4@@.?469?64@，/5:<.F/564KD4?/B45;9<:C5F/;/C5@，F/@7:>9?64:>9?9:;4?/@;/:@，F/@:>9?64B4:>95/@B95F54EF/965C@;/:B4;>CF@’L>4?49?46?49;D?C@D4:;@HC?95.B7A4?CH/5F.@;?/9<9DD9@;>/5H/

4、:9;/C5，F/@/5H4:;/C54;:’7.83,-’%669;BC@D>4?/:D?4@@.?469?64，.5/HC?B/;=，

5、离子开的，比如这种放电有比较低的击穿电压，容易实现体在电离态’因此，近几年来大气压下的辉光放电研稳定放电，还可以在较大尺度内实现均匀以及相对究受到了人们越来越多的重视’高的活性粒子浓度等’但另一方面由于低气压放电事实上早在PY$$年XC5R564<等人就已报道了离不开真空系统，这使得材料处理不再能连续地进用裸露电极在空气或氢气中产生大气压下的直流和［P］行，而且代价昂贵’这使得人们开始注意对一些大气射频辉光放电’然而这种放电并不稳定，容易发压下放电等离子体的应用研究，比如电晕放电、UVU生向弧的转变，需要冷却阴极，而且开始放电时气压放电和弧放电等’由

6、于这几类放电等离子体在某些必须首先由真空逐渐升压至大气压’PYOO年Z[9J97工业应用的场合不太适合，比如电晕放电产生活性[/等人报道了一种大气压下惰性气体中产生的稳定［#］粒子的效率太低且不均匀’UVU放电持续时间太短辉光放电，世界各国在此之后逐渐开始就这一课（纳秒量级），而且这种微放电或丝状放电也不均匀，容易导致被处理材料表面凹痕或针眼’而弧放电!!#%%$M%NM#$收到初稿，#%%$M%OMPQ修回则因为能量密度太高很容易损伤薄的或比较脆弱的"!通讯联系人’R7B9/<：?SJ>95T.@;:’4F.’:5·;:9·物理前沿进展题展开研究’

7、#!典型的实验装置从目前的报道来看，有三种反应器产生的放电被看作是大气压辉光放电’图(所示为现在研究最多的大气压下辉光放电图"!螺旋电极大气压辉光放电装置实验装置’反应器由两块平板电极构成，电场的振幅一般为每厘米千伏量级，频率一般在)*+频段内，通过实验提出了在大气压下获得稳定辉光放电等离［#—(-］但也有达到,*+量级的’一般工作气体为氦气［#］子体的三个条件：!利用氦作为稀释气体；"采［%］［(%］［(.］或掺杂的氩气，还在空气、氮气、甚至氖气用)*+频率的电源；#在电极板上覆盖绝缘介质’中产生大气压下的辉光放电’(>>"年，<);+;):等人用

8、一个-$*+源实现了大气压下空气、氩气、氧气和氮气中的稳态辉光放电，并提出用电流脉冲波形和电压?电荷的利萨如