填充式介质阻挡放电等离子体脱除硫酰氟的研究

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1、高电压技术第38卷第5期2012年5月31日HighVoltageEngineering，Vo1．38，No．5，May31，2012填充式介质阻挡放电等离子体脱除硫酰氟的研究郑其锋，聂勇，顾大勇，黄彤文，童星，计建炳(1．浙江工业大学化学3-程与材料学院，杭州310014；2．深圳国际旅行卫生保健中心，深圳518033)摘要：为研究脱除熏蒸后残留硫酰氟气体并达到无害化排放的要求，采用填充式介质阻挡放电等离子体技术进行研究。考察了石英玻璃球和氧化铝球两种不同填充介质下放电电压和能量密度对硫酰氟脱除效率的影响，分析了填充介质对硫酰氟脱除后的产物组成及脱除机理影响

2、。结果表明：在相同电压下，填充氧化铝球时介质阻挡放电对硫酰氟的脱除效率明显高于石英玻璃球；氧化铝球作为填充介质时在能量密度为208J／L能完全脱除硫酰氟，相比填充石英玻璃球情况能耗减少5O以上。填充石英玻璃球时硫酰氟在介质阻挡放电作用下分解产物主要为siF4，SO和s；填充氧化铝球时介质阻挡放电可以有效地无害化脱除硫酰氟。关键词：填充介质介质阻挡放电；硫酰氟；脱除机理；脱除效率；无害化处理DoI：10．3969／j．issn．1003—6520．2012．05．020文章编号：1003—6520(2012)05—1157-06RemovalofSO2F2byt

3、hePackedBedDielectricBarrierDischargePlasmaZHENGQifeng，NIEYong，GUDayong。，HUANGTongwen。，TONGXing，JIJianbing(1．CollegeofChemicalEngineeringandMaterialsScience，ZhejiangUniversityofTechnology，Hangzhou310014，China；2．ShenzhenInternationa1TravelHealthCareCenter，Shenzhen518033，China)Abstrac

4、t：Aluminaandquartzglassbailswerechosenasfillingdielectric，andthepackedbeddielectricbarrierdischarge(DBD)plasmawasadoptedtorealizetheharmlesstreatmentofsulfurylfluoride(SO2F2)．TheeffectsofdischargevoltageandenergydensityontheremovalefficiencyofSO2F2filledwithdifferentdielectricswerei

5、nvestigated，respectively．Meanwhile。theremovalproductsandmechanismofSOzFzfilledwithdifferentdielectricsintheDBDreactorwereanalyzed．ResultsshowedthataluminadielectricwasmoreeffectiveforSF2O2harmlesstreatment，andSF2O2couldbecompletelyremovedwhentheenergydensitywasabove208J／L．Comparedwi

6、thpackingquartzglassballs。theenergyconsumptionofpackingaluminaballdecreasedby50．SOzF2wasdegradedintoSO2，SandSiF4whenquartzglassballswasfilledintheDBDreactor．Intermsofaluminadielectric，theharmfulgaseousproductsafterplasmatreatmentcouldbecompletelyreactedandabsorbedbyaluminatOrealizet

7、heharmlesstreatmentofSF202．Keywords：fillingdielectric；dielectricbarrierdischarge(DBD)；SF2O2；removalmechanism；removalefficiency，harm】esstreatment氟的相关危害还没有引起足够的重视，目前针对熏O引言蒸后残留的硫酰氟废气的处理没有统一可行的方硫酰氟(sG02)作为一种熏蒸剂替代溴甲烷已法，常用方法是采用通风的方式排放到大气中。因在世界范围内逐渐被推广应用口]。然而，硫酰氟又而，迫切需要开发新技术解决这一环保问题。是一种对人体

8、有毒有害的气体，长期接触会导致中非平衡