基于硅基波导声光移频器理论与技术的研究

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1、长春埋工大学硕士学i立论文原创性声明IlJllItlIIItIIl＼1740992本人郑重声明：所呈交的硕士学位论文，《时间分辨光谱技术在免疫分析中的应用》是本人在指导教师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。储签名：鞋站j月卫日长春理工大学学位论文蝮权使用授权书本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士、

2、博士学位论文版权使用规定”，同意长春理工大学保留并向中国科学信息研究所、中国优秀博硕士学位论文全文数据库和CNⅪ系列数据库及其它国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理工大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，也可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编学位论文。作者签名：娅导师签名：垫』月型日逊年j月卫日摘要声表面波声光移频器是研制光学陀螺仪中实现高精度Sagnac频差测量的一个集成光学核心器件。基于光学陀螺仪对声光移频器的技术要求，本论文

3、对硅基光波导声光移频器技术进行了深入研究。本文根据声光互作用的一般理论，详细论述了硅基光导波声光移频器件的工作原理，设计了声光移频器的结构并确定声光移频器参数，最后进行了器件的研制。该声光移频器以硅基二氧化硅为基片，在其双臂集成由ZnO压电薄膜构成的声表面波(SAW)叉指换能器。为了实现ZnO压电薄膜与其衬底间的附着力，我们采用了真空磁控溅射技术来制作薄膜，利用光刻工艺法来制备叉指电极。设计出各项参数保证了声光器件对光学陀螺的信号检测工作。关键词：声光移频器声表面波ZnO薄膜叉指换能器二氧化硅光波导ABS

4、TRACTAcousto．opticalfrequencyshifteristhecoreofintegratedopticaldeviceswhichthedevelopmentofopticalgyroscopetoachievehigh—precisionSagnacfrequencymeasurement．ForopticalgyroscopeontheAcousto—opticalfrequencyshifterofthediffractionefficiencyrequirements，the

5、paperstudiedthetheoryandtechniqueresearchofsilicon—basedSi02opticalwave—·guideacousto--opticalfrequencyshifter．Inthispaper,accordingtothegeneraltheoryofacousto—opticalinteractions，wedetailedlydiscusstheprincipleofacousto—opticalfrequencyshifter,devisetheo

6、perationmodeoftheacousto．opticalinteractionanddeterminethedesignparameterofthedevice，finallycarryoutthedevelopmentofthedevise．Theacousto．opticalfrequencyshifterofchipissilicon—basedSi02，initsdouble-wallbythepiezoelectricZn0filmsconstituteasurfaceacousticw

7、ave(SAW)IDT．InordertoachievestrongeradsorbabilitybetweenZnOfilmandthesubstrate，weusedthevacuummagnetronsputteringtoproducethefilm，utilizedlithographymethodtopreparationinterdigitalelectrode．Designalltheparameterstoensuretheacousto—opticdevicesforopticalgy

8、roscopesignaldetectionwork．Keywords：Acousto-opticaiFrequencyShifterSurfaceAcousticWaveZnOfilmInterdigitaiTransducersSi02opticalwave-guide目录摘要ABSTRACT第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯11．1引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯l1．2集成光学陀螺的基本原理⋯