基于序优化和响应曲面法半导体晶圆制造系统两阶段多目标优化调度方法

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1、ADissertationSubmittedtoShanghaiJiaoTongUniversityfortheDegreeofPhilosophyDoctorTWO．STAGEMUl月I．OBJECTIVEoPTIMIZATIONAPPROACHFORSCHEDULINGSEMICONDUCTORWAFERFABRICATIONSYSTEMBYORDINALOPTIMIZATIONANDRESPONSESURFACEMETHODOLOGYAuthor：ZHANGHuaiSpecialty：MechanicalEngineering(Industria

2、lEngineering)Advisor：Prof．JIANGZhibinSchoolofMechanicalEngineeringShanghaiJiaoTongUniversityShanghai．P．R．ChinaMar．2009附件四上海交通大学学位论文原创性声明本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。学位论文作

3、者签名：易伊P’日期：砷年弓月1日f附件五上海交通大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，同意学校保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权上海交通大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。保密回，在咿年解密后适用本授权书。本学位论文属于不保密口。(请在以上方框内打“4”)学位论文作者签名：旁冲日期：渺1年-；月叼日指导教师签名：嗍：1年弓肌了日上海交通大学博士学位论文答辩决议书姆名张怀f学号f00

4、40202029f霉翥f利l械：F程(二[：_k二【程)指导教帅江志斌f蓄荔fz009—03一z7}蔻黧f一上海交通大学机械学院机械楼A楼沦文题目鳌三[：!壁垡丝塑堕堕!!堕鎏的半导体晶圆制造系统两阶段多目标优化调度方法投票表决结果：』』，S』，至(同意票数／实到委员数／应到委员数)答辩结论：由乞过口末迎过词二i霸：fIl决议IK怀旧’￥：V,J博卜论文纳合、Ii导体I训剥制造系统(SWFS)的叶，。1射q!，从“基丁‘仿真优化的鹏阶段多H畅i优化渊度”和“斯向动态瓶颈的乍J^：线、{二衡控制”这I)：』=『个火键科学问题入F，深入研究年¨探索，通}}

5、j]SWFS的利学生广’。管理方法，具仃重要的理沦意义和实川t价值。论文提出1r。种两阶段多H标优化调度方法。该方法分为规则选择阶段和参数优化阶段，能够快迷地选抒}“合适的规必U绀合，并垃能够动态地优化缃合参数，。史现计势效率1j优化精度ff，j权颧i。论艾还提出j’一神动态jj{“颈实时派I．策略DBD。该算法以平衡品恻7h’。线为优化lI标，结合全J。0j：卜游信，‰计充分考虑品刨制造系统中瓶刊!设备动态漂移的特性，艟丰等改善j’算法性能。论文作者还参10研发了一个基丁：仿真的凋J芟系统，为复力￡生产渊度n{圳f究和虑川提供r支持。沦文表明{1：，

6、若‘掌握了峰实的基础理沦利系统深入I，l勺专、Ik知识，见有很摄的剥研利创新能JJ。呛丈条理清晰，绱沦Ir确。仡答辩过群中阐述清楚，问答问题lE确。经答辩委员会时论汗死记lZ投票，致通过其I尊F剐讧论文答辩，”建议授卜jK怀川。；!：1．’、引尊十。、：叫秒。力祈印3¨幻I—lI必t”i辩蚕l八厶“成I．；pJ簿截彤j务姓名职f4；1，f位签名{二懈批：裕厌教授上海交通大’jj委员李叫教授华东师范大学委员乔非教授4济大’j：委员叶春明教授海理：1：大警委员王丽亚教授L海交通大学蚕贺协’rj令娜t海交迎大’、：：摘要基于序优化和响应曲面法的半导体晶圆制造

7、系统两阶段多目标优化调度方法当今，竞争激烈的半导体市场非常注重对客户需求的响应。缩短加工周期及提高按时交货率对于提升客户满意度而言尤为重要。为了达到上述目标，需要通过有效的调度技术以加强生产管理，提高系统绩效。由于半导体晶圆制造系统(SemiconductorWaferFabricationSystem，SWFS)具有大规模复杂、多重入加工、高度不稳定、产品及技术快速更迭等特点，因此求解其调度问题非常困难。至今针对SWFS调度问题已提出各类不同的方法，主要集中在数序规划、调度规则和智能算法等三个方面。其中，调度规则被广泛地应用于解决晶圆车间调度问题，其

8、原因主要有以下两点：第一，晶圆制造系统包括很多复杂组合问题，很难通过解析方法在较短时间内进行求