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时间:2019-01-31
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1、重庆大学硕士学位论文1绪论1绪论1.1ZnO的基本性质ZnO是一种光电和压电等多功能相结合的II一Ⅵ族直接宽禁带半导体型氧化物材料,在自然条件下其晶体具有三种结构:纤锌矿晶体结构(B4)、立方闪锌矿晶体结构(B3)和氯化钠式八面体结构(B1)¨】。在常温和常压下,ZnO的稳定相为六方纤锌矿晶体结构,即O原子与Zn原子以六方排列方式为结构基础,而Zn原子可形象描述为填充于半数的O原子排列所形成的四面体空隙之中,0原子在Zn0中按六方排列所形成的八面体空隙则未被占据,可构成[Zn04]6。或[Zn04]6+结构,原子间配位数为4,其结构图如图1.1所示,基本性能与参数见表1.1。0;
2、ZnAc基“涵。l。搬≤l毡一一。图1.1ZnO原子结构图Fig1.1AtomicstructureofZnOZnO与GaN等其他光电子材料相比,具有低介电常量、大光电耦合率、高的化学稳定性以及优良的压电、光电特性,有着极为广泛的用途【4J。其禁带宽度对应于紫外光的波长,有望开发出应用于蓝光,蓝绿光,紫外光等多种发光器件【5J。ZnO的激子结合能高达60meV,远远高出GaN(21meV),产生室温短波长发光的条件更加优越。ZnO薄膜可以在低于500。C下获得,不仅可以减少材料在高温制备时产生的杂质和缺陷,同时也大大简化了制备工艺;同时,ZnO来源丰富,价格低廉,具有很高的热稳定
3、性和化学稳定性【6J。重庆大学硕士学位论文1绪论表1.1ZnO基本参数与物理性能‘2,3】Table1.1BasicparametersandphysicalpropertiesofZnO∞】晶体属性典型数值晶体结构空间群品格常数(nm)Co/口o'密度(g/cm3)熔点Cc)膨胀系数(/℃)介电常数压电系数(C/N)禁带宽度(eV)本征载流子浓度(/cm3)激子束缚能(meV)电子/空穴有效质量(xmo)电子hall迁移率(300K)空穴hall迁移率(300K)抗辐射能力导热率(W/cm·K)折射率结合能莫氏硬度纤锌矿简单六角结构P63mcao=bo=0.325,Co=0.5
4、2l1.6025.60619754.75×10一/K(a),2.92x10。6/K(c)£(0)=8.75,c(oo)=3.7510.5—11.53.371.7×1017600.24/0.59200cm2/Vs5.50cm2/Vs11.2x1017e·cm2(2Mev)1.16+0.08(Zn面),1.10+0.09(O面)2.008,2.0091.89eV4.51.2ZnO的基本应用‘1,7,8,9】ZnO的应用非常广泛,它的无毒和非迁移性、荧光性、压电性、吸收和散射紫外线能力等,使其在橡胶、陶瓷、日用化工、涂料、磁性材料等方面具有广泛的用途,可以制造气体传感器、荧光体、紫外线
5、遮蔽材料、变阻器、图像记录材料、压敏材料、压电材料、高效催化剂等备受人们重视桫J。随着研究的深入,对ZnO的制备水平和性能的研究又上升到了新的高度。纳米ZnO的研制成功,使得对ZnO的研究和应用不断拓展到了新的领域。1.2.1气敏特性的应用气敏材料的基本要求是对吸附气体有快速反应,吸附后能改变其物理性质,且反应可逆,能再生。目前最常用的纳米结构材料便是ZnO,因其具有高比表面重庆大学硕士学位论文1绪论积、高活性等表面半导体性能是增强气体元器件灵敏度的重要原因,致使它对外界环境十分敏感,对多种可燃性气体具有较高的敏感度。并通过掺杂可以对二氧化硫、硫化氢、酒精蒸气和氟立昂等气体进行选
6、择性检测。1.2.2压电特性的应用ZnO压电特性的应用主要是体声波以及表面声波(SAw,SurfaceAcousticWave)谐振器,滤波器以及传感器,以及微或纳米机电系统(MEMS和NEMS)。压电的ZnO薄膜最常见的应用是SAW滤波器。同时ZnO具有良好的高频特性,随着数字传输和移动通信信息传输量的增大,SAW也要求超过1GHz的高频。因此ZnO压电薄膜在高频滤波器、谐振器、光波导等领域有着广阔的发展前景。1.2.3紫外受激发射ZnO具有较大的激子束缚能,可以实现室温紫外激光发射,有望开发蓝光、蓝绿光、紫外光等多种发光器件。同时,ZnO具有很好的光泵浦受激辐射特性,尤其是P
7、型掺杂的实现,为其在紫外探测器、发光二极管(LED,LightEmittingDiode)、激光二极管(LD,LightDiode)等领域的应用开辟了道路。1.2.4透明导电性ZnO带隙较宽,在可见光范围内是透明的。因此,高n型掺杂的ZnO薄膜尤其是AZO(ZnO:A1)薄膜,是一种理想的透明导电氧化物(TCO,Transparentconducti—veoxide)薄膜,在可见光区域透射率可达90%,电阻率可降至10‘4Q·cm。由于AZO的组成物Zn和A1,相对于原来使用的锢
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