SJT31273-1994EVP-13480-型磁控溅射机完好要求和检查评定方法.pdf

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1、设备完好要求和检查评定方法(下册)标准分享网www.bzfxw.com免费下载专用设备(续)中华人民共和国电子行业标准SJ/T31273-94EVP--13480型磁控溅射机完好要求和检查评定方法主肠内容与适用范囤本标准规定了EVP-13480型磁控溅射机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于EVP-13480型磁控溅射机，其它规格的磁控溅射机亦可参照执行。2术语磁控溅射—是在靶上外加互相垂直的磁场和电场，在一定的真空情况下，发生浓密度的等离子体，利用等离子体的作用形成膜层。3完好要求3.1性能

2、要求3.1.1极限压力:低于1X10-'Pa.3.1.2设备运转:20min后，极限压力能满足溅射要求。3.2操作系统各操作手柄、开关、按钮等齐全、无缺损、灵敏、可靠，标志齐全。3.3传动现象。3.3.1传动机构运行平稳，可靠、电机变速机构等工作正常，无异常噪音。3.3.2制动、限位装置齐全，完整、灵敏、可靠。3.4润滑系统3.4.1润滑装置齐全，完整无损，作用良好。3.4.2管路齐全，油路畅通，油窗明亮，油标醒目;油质、油量符合规定要求。3.4.3油嘴、油杯、油眼清洁，无堵塞现象。润滑良好;基本

3、无漏油，即每一漏油点滴油数，3min内不得超过一滴。3.5真空系统3.5.1真空泵运转平稳，无异常振动，无冲击，极限压力不低于1X10-'Pa,3.5.2低温泵工作正常。3.5.3蒸发室观察窗清洁、密封良好。3.5.4真空管路连接紧固可靠、畅通、密封良好。3.5.5真空阀门开闭灵活可靠。3.6电气系统中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01实施一810一SJ/T31273-标准分享网94www.bzfxw.com免费下载3.6.1各元、器件齐全、完整、性能良好，可靠，无

4、老化现象。3.6-12管线完整，无损，联接牢固。线路绝缘层无破裂，无老化，漏电现象。3.6.3电气控制柜内部清洁，线路布置整齐，标志齐全、明显，各端子紧固无松动现象，元、器件动作灵敏、安全、可靠。3.6.4仪表齐全、完整，灵敏、指示准确，可靠，有有效期校验合格证。3.7附属装置冷却水供应正常，管道畅通。3.8安全防护3.8，各安全防护装置齐全、完整，工作正常，可靠。3.8.2接地(零)可靠、标志明显。3.9维护保养按SJ/T31002-94《设备维护保养通则》执行。4检变、评定方法4.1检查方法4

5、.1.1设备极限压力用真空表检测。4.1.2设备接地漏电用兆欧表检测。4.1.3完好要求3.2-3.9各条所列内容均采用主观法检查.4.2评定方法4.2.13.1-3.9所列各条要求中，主要项目为:3.1.1,3.1.2,3.5.1,3.5.2,3.5.3,3.6.1--3.6.4,3.8.1,3.8.2。其余为次要项目。4-2-2主要项目有一项不符合要求，为不完好设备;次要项目有二项不符合要求，亦为不完好设备。4.2.3完好设备的维护保养，应达到优等设备标准。附加说明:本标准由电子工业部经济运行

6、与体制改革司提出。本标准由上海市仪表电讯工业局组织起草。本标准主要起草人:周尧良。811