SJT11275-2002-卧式液相外延系统通用.pdf

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1、ICS29.260L92备案号:10995-2002中华人民共和国电子行业标准SJ/T11275-2002卧式液相外延系统通用规范Genericspecificationforhorizontalliquidphaseepitaxialsystem2002-10-30发布2003-03-01实施中华人民共和国信息产业部发布SJ/T11275-2002目次前言.，.⋯⋯，....⋯⋯，，...⋯⋯，..⋯⋯，...⋯⋯，二，..⋯，，⋯11范围..⋯，.⋯⋯“.，.，.⋯卜卜.⋯，，.⋯⋯，.⋯，...⋯⋯，........⋯⋯12规范性引用文件..⋯⋯，...⋯⋯，.....

2、...............................⋯⋯13术语和定义.⋯⋯，...........................⋯⋯，二，.......⋯⋯，二14产品型号及命名方法.⋯，_...⋯⋯‘.⋯二二，.，..⋯，⋯⋯_.，，.，‘25技术要求.............................................................⋯⋯26试验方法..⋯⋯，..⋯，，，.⋯，⋯⋯，，..⋯、.⋯，⋯‘二，，，..⋯⋯，二，.，二37检验规则.，..⋯，........⋯⋯，........................

3、....⋯，.....⋯⋯68标志、包装、运输、贮存⋯，.，.⋯‘二‘⋯，..............⋯⋯，.........⋯⋯7SJ/r11275--2002前言本规范是根据GB/P1.1-2000《标准化工作导则第1部分:标准的结构和编写规则》.GB/f1.3-1997《标准化工作导则第3部分:产品标准编写规定》的要求进行编写的。规范中，通用技术条件参照了SJ1794《半导体器件生产用扩散炉通用技术条件》。测试条件、测试设备及仪器、恒温区温度精度测试、单点稳定性测试，参照了SJ2065《半导体器件生产用扩散炉测试方法》。安全设计，部分参照了GB16754-1997Q机械

4、安全急停设计原则》。降温速率、降温过程恒温区温度的平坦度等技术要求，是根据液相外延设备的技术特点制定的。本规范由中国电子技术标准化研究所(CESI)归口。本规范起草单位:信息产业部电子第四十八研究所。本规范主要起草人:袁章其、刘日喜、王理政、李军阳。SJ/T11275-20023.6降温过程恒温区温度的平坦度flatzonesmoothnessduringcooling恒温区温度降温过程任意一时刻沿恒温区长度方向的温度均匀性。4产品型号及命名方法根据SJ/T37-1996《电子工业专用设备型号编制与命名方法》的规定，型号及命名方法如下:企业代号产品设计的顺序温度(以100℃为

5、单位)种，液相外延设备型，气相淀积及外延设备类，表面处理和薄膜淀积设备示例:XX企业所生产的温度为1100℃的第一代液相外延系统型号为M8611-1/XX.5技术要求5.1工作条件5.1.1环境温度:5`C^-400Co5.1.2大气压强:86kPa-106kPao5.1.3净化间净化级别:优于10000级。5.1.4相对湿度:<70%e5.1.5无高频及较强磁场的干扰。5.1.6电源:交流380X(1士10%)V;频率:50X(1士1%)Hz.5.1.7冷却水:软水;温度180C-260C;水压0.2MPa-0.4MPaa5.1.8设置散热、排废、热气抽风口。5.1.9氢气

6、、氮气、氨气、氢气纯度优于99.9999%.5.2外观及结构要求5.2.1外观要求a)设备外观应整齐平整，表面不应有明显凸凹不平、划伤、锈蚀等缺陷。适当装饰，色泽协调、美观;b)涂覆的零部件，应符合SJ2573的要求;c)金属镀层及化学处理的零部件，应符合SJ1276的要求;d)紧固件连接牢固，无松动现象;.)面板上的文字、符号和标志清晰准确。5.2.2结构要求a)布局合理，便于操作、装拆、维修;b)配有散热、排废气接口;c)推舟机构运转灵活、无卡滞现象;d)水冷装置的进出水畅通，无滴漏现象。SJ/T11275-20026.3安全试验6.3.1漏氮报替保护氢气报普器设定额定报

7、替值，人为将一定量的氢气引入氢气检测器，设备应发出声、光报普，并自动切断氢气流及电阻炉加热电源。6.3.2超温报替炉温到达温控仪设定的某一温度值之后，人为将温控仪设定值降低50C-10'C，设备应发出声、光报带并自动切断电阻炉加热电源。6.3.3断偶报替电阻炉在工作中，人为断开任意一热偶的引出接线，温控仪、计算机屏上应有相应显示，且操作面板的相应红灯闪烁报普。6.3.4断水报价设备运行过程中，关闭进水阀门，操作面板上指示红灯亮，并自动切断电阻炉加热电源。6.3.5反应室内过压报普反应室通气的过程中，人为