JJG770-1992-柯氏干涉仪.pdf

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1、中华人民共和国国家计量检定规程JJG770--1992柯氏干涉仪KosterInterferenceComparator1992一02一15发布1992一08一01实施国家技术监督局发布JJG770-1992尹柯氏干涉仪检定规程.。.。.0.。VerificationRegulationof-。JJG770-1992.。6、.o.o.o.o.o.o.o.o.o.o.o.o.o.oKosterInterferenceComparator本检定规程经国家技术监督局于1992年02月15日批准，并自1992年0

2、8月01日起施行。归口单位:航空航天工业部第三O四研究所起草单位:航空航天工业部第三O四研究所本规程技术条文由起草单位负责解释JJG770-1992本规程主要起草人:尹承志(航空航天工业部第三0四研究所)JJG770-1992目录一概述······································································，····，···。······一(1)二检定项目和检定条件·....................:...............

3、...................................(2)三技术要求和检定方法·.......................................................................(3)四检定结果的处理·.............................................................................(8)JJG770-1992柯氏干涉仪检定规程本规程适用于新制造、使用中和修理后的柯氏干涉仪

4、的检定。一概述柯氏干涉仪是以氛光波或氦光波波长作标准，用绝对光波干涉的方法检定量块的仪器，它主要用于直接测量长度至125mm的量块的长度和长度变动量。在对量块长度作绝对测量时，仪器的示值误差为士(0.03+0.5l)pm式中:l—被测量块的标称长度，单位为mo该仪器还可用于比较测量。仪器外形如图1所示。仪器光学系统如图2所示。图1柯氏干涉仪1-高压整流器;2一色散梭镜调节手轮;3一气压计;4-湿度计;5一计算尺JJG770-1992图2柯氏干涉仪光学系统6一高斯目镜;7一出光隙缝;8一工作台倾斜调整旋钮;

5、9一工作台高度调节旋钮;10-棱镜倾斜调节;11一色散棱镜;12一望远镜物镜;13一量块;14一平晶;15-量块工作台;16一工作台高度粗调手轮;17一工作台高度指示标尺;18一分光镜;19一补偿镜;20一参考镜;21一准直管物镜;22-进光隙缝;23一反射镜;24一白光灯;25-聚光镜;26一光源二检定项目和检定条件1柯氏干涉仪的检定项目和主要检定工具如表1所示。表1检定类别序号检定项目主要检定工具新制的修理后使用中1设备的完整性目测+++2外观目测+++3各部分的相互作用手感、目测+++JJG770-

6、1992表1(续)检定类别序号检定项目主要检定工具新制的修理后使用中4量块工作台的调整机构平晶+++5光源量块、平晶+++6干涉系统平晶+++7望远系统十字划线光阑、出光隙缝+++8准直系统进光隙缝、出光隙缝+++9参考镜系统的平面度平晶十++10环境参数测量装置按有关检定规程检定十++11平晶按有关检定规程检定+++12计算尺、计算表目测+13测量的重复性量块、平晶+++14示值误差十++注:表中“+”表示应检定，“一”表示可以不检定。检定柯氏干涉仪的恒温室的温度应为(2010.2)U，温度变化速率不大

7、于0.2`C/ho被检仪器检定前在恒温室内放置的时间不少于48h，使用的标准器具在恒温室内放置的时间不少于24ho三技术要求和检定方法4设备的完整性4.1要求4.1.1设备应主要包括高压整流器、氢光灯、氦光灯、白光灯、光束校正用光源、手提照明灯、量块工作台、氢光进光隙缝、氢光出光隙缝、氦光进光隙缝、氦光出光隙缝、十字刻线光阑、空气温度计、量块温度计、单管定槽式水银气压计、湿度计、氢计算尺、氦计算尺、波长校正计算尺、平面平晶等。MG770-19924.1.2因氦光波相干长度较小，现一般只使用氢光。如果不使用

8、氦光，氦光灯及相应部件可不作检定要求。4.2检定方法:观察、清点。5外观5.1要求5.1.1仪器外观应完好、清洁，保温箱正面应标有制造厂商标和出厂编号。5.1.2光学系统的光学件应无油迹、灰尘和霉点等污物;视场清洁，亮度适中，照明均匀。5.2检定方法:目力观察。6各部分的相互作用6.1要求6.1.1灯架的纵向、横向移动应灵活、平稳。6.1.2进光隙缝和出光隙缝的装上和取下应灵活自如。6.1.3色散棱镜的调整应灵活、平稳、无间隙