J BT2965-1992-溅射离子泵性能测试方法.pdf

《J BT2965-1992-溅射离子泵性能测试方法.pdf》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、in中华人民共和国机械行业标准JB/T2965-92溅射离子泵性能测试方法1992-12-25发布1993-07-01实施中华人民共和国机械电子工业部发布中华人民共和国机械行业标准.1B/T2965一92代替JB2965一81溅射离子泵性能测试方法1生题内容与适用范围本标准规定了溅射离子泵(以下简称离子泵)性能测试方法。本标准适用于抽速大于IOLs-'的离子泵。2术语、符号2.1抽气速率(简称抽速，符号:S;单位:Ls-')本标准定义的离子泵的抽速是把按照标准规定的试验程序，在规定的抽速测试罩上指定位置测得的压力，代入指定公式的计算结果。2.2

2、极限压力(符号:P;单位:Pa)本标准定义的离子泵的极限压力是按标准规定的试验方法测得的稳定最低压力。2.3测试罩是一个具有指定形状和尺寸的容器，其上的指定位置装有真空计本标准规定了极限压力测试罩(见3.2.3)和抽速测试罩(见3.2.4)03测试方法3.1测试气体本标准规定以干燥空气为测试气体。3.2测量装置3.2.1压力测量全压力以等效氮压力表示。使用适当的热阴极电离计，其测量范围为4.0X10-'^-1.0X10'Pa为了降低由于电子诱导离子解吸效应引起的剩余电流造成的误差，电离计的发射电流在1X10mA范围内。电离计要用高纯氮气校准。3

3、.2.2热阴极电离计。电离计必须有已知的校准曲线压力读数误差不得大于110%。离子泵磁钢的杂散磁通密度应当充分低，以保证其对电离计灵敏度的影响不超过士3X,3.2.3测量极限全压力的测试罩测试罩具有圆形断面，其内径为D(见图1)。对于入口直径100mm及以上的离子泵，D等于离子泵入口直径。对于入口直径小于100mm的离子泵，D一律为100mm。圆筒形测试罩的总高度为3D/2,其顶部是平的。测试罩与离子泵之间联接法兰的密封圈由制造厂推荐。测试罩应能承受400℃真空烘烤。测试罩带有两个联管，其中之一经过可烘烤截止阀联接粗抽泵另一个联管轴线距底部法兰

4、面为D/2，联管垂直罩壁向外伸出，然后向上弯成直角以便安装电离计。3.2.4测量抽速的测试罩测试罩具有圆形断面，其内径为D(见图2)。对于入口直径为100mm及以上的离子泵.D等于入口直径。对于入口直径小于100mm的离子泵，D一律为100mmo机械电子工业部1992-12-25批准1993-07-01实施1JB/T2965一92圆筒形测试罩的高度3D。距罩底部法兰面为3D/2高度处装有一金属薄板，其周边与测试罩壁密接，其中心有一直径为d的小孔O，小孔边缘要薄，不大于。.5mm(见图2)。对于入口直径为100mm及以上的离子泵>d值取0.05D

5、-0.1D。对干入口直径小于100mm的离子泵，d值要根据离子泵预期的抽速选取，使得测试罩上下两部分测得的压力比值在5^10。范围内。测试罩的上室Y具有两个垂直罩壁向外伸出的圆管，其轴线在薄孔板上方D/2处。其中之一向上弯成直角以便安装电离计P,。另一圆管安装进气管，进气管沿罩轴线向上弯成直角，其端部为出气口，距罩顶部D/2，进气管的人口端联接一只可烘烤控制阀。测试罩的下室X具有三个垂直罩壁向外伸出的圆管，其轴线在罩底部法兰面上方D/2处，其中之一经过可烘烤截止阀联接粗抽泵，其二向上弯成直角以便安装电离计P,，其三备用。3.3测试程序3.3.1

6、测量极限全压力把极限压力测试罩装在离子泵口上，联接一个适当的粗抽泵并带有适当的扑集器，防止粗抽泵液蒸气流入测试罩和离子泵中，并能把测试真空系统抽降到离子泵的起动压力之下。执行下述再生烘烤程序。开动粗抽泵。离子泵和测试罩进行4h烘烤。烘烤温度为300℃或制造厂所推荐的不高于300℃的烘烤温度。然后，以离子泵的随机电源起动离子泵，关闭截止阀，使粗抽泵与测试罩隔离，在同样的温度下继续烘烤10h。在烘烤过程中，如果由于大的气体负荷使压力升高超过5x10-lp.，需切断加热器，等压力降到1.0-10-'Pa以下时再重开加热器。用电子州-f-方法或电离计制

7、造厂所推荐的方法给电离计去气在烘烤过程中和烘烤结束时都要进行去气停止烘，离子泵继续工作。等待测试罩冷却到15-25℃之间。在随后的48h内，要保证温度变化不超过士30C,最后一次去气在测量前至少5h进行，如果测量的压力无显著变化，就作为离子泵的极限压力。离子泵的供电电压和电流与对应的压力同时记录。也要记录试验过程中环境的最高和最低温度。3.3.2测量抽速把抽速测试罩装在离子泵上，进行与测量极限全压力相同的再生烘烤程序。停止烘烤后，离子泵继续工作。待冷却到1525℃之后，调解进气控制阀，放入干燥空气，使测试罩下室X的电离计指示值P,=(L.。士。

8、.1)X1抽气100min。在这个抽气过程中，泵大约抽除4SPal空气，这是使泵稳定所必需的条件。然后关士气阀，离子泵继续工作相当长的时间后，如果P: