基于mems的液压系统流量传感器的理论与实验.研究

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1、目录目录第1章绪论...............................................................................................................……11.1流量测量的一般概述.............................................................................……，……11.2液压系统中的流量测量概述....................................

2、...................................……31.2.1流量测量在液压系统中的意义与特点..............................................……31.2.2液压系统中流量测量的国内外研究现状.........................................……41.3基于MEMS传感器的液压系统流量测量新方法......................................……61.4论文的研究背景及主要研究内容.............

3、...................................................……71.4.1论文的研究背景..................................................................................……71.4.2论文的主要研究内容.........................................................................……7第2章MEMS简介及对MEMS传感器的选型.......

4、.............................................……82.1MEMS简介及国内外研究现状...................................................................……82.2MEMS微传感器的特点.，...........................................................................……102.3MEMS力学流量传感器的原理及选型...................

5、..................................……H2.3.1力学流量传感器的原理......................................……，.......................……H2.3.2压阻式MEMS压力传感器工作原理..............................................……122.3.3MEMS力学传感器的选型..............................................................

6、.……142.4本章小结.....................................................................................................……巧第3章新型流量传感器的建模与尺寸优化.................................................……，.……163.1流量一压差关系模型的导出...............................................................

7、.......……163.2异径管结构的优化设计..............................................................................……263.3本章小结.....................................................................................................……28第4章新型流量传感器的仿真分析....................................

8、..................……，........……294.1CFD及其软件介绍........................................................................