基于mes平台的生产过程监控系统研究与实现

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1、j?、_中图分类号：TP311．52UDC：004．9学校代码：10004密级：公开北京交通大学专业硕士学位论文基于MES平台的生产过程监控系统研究与实现TheProductionProcessMonitoringSystemResearchandImplementationBasedonMESPlatform作者姓名：贾永强导师姓名：路红英学号：09125056职称：高级工程师工程领域：计算机技术领域学位级别：硕士北京交通大学2011年6月r厶致谢本论文的工作是在我的导师路红英和刘峰老师悉心指导下完成

2、的，路红英老师和刘峰老师严谨的治学态度和科学的工作方法给了我极大的帮助和影响。在此衷心感谢两年来路红英老师和刘峰老师对我的关心和指导。路红英老师悉心指导我完成了实验室的科研工作，在学习上和生活上都给予了我很大的关心和帮助，在此向路红英老师表示衷心的谢意。刘峰老师对于我的科研工作和论文都提出了许多的宝贵意见，在此表示衷心的感谢。在实验室工作及撰写论文期间，李晶、聂鹏等同学对我论文中的系统实现研究工作给予了热情帮助，在此向他们表达我的感激之情。另外也感谢家人，他们的理解和支持使我能够在学校专心完成我的学业。

3、中文摘要摘要：目前，越来越多的制造企业根据其自身业务流程通过部署和实施制造执行系统(MES)来进行生产管理和提高产能，实现与下层过程控制系统(PCS)和上层企业资源计划(ERP)的信息沟通。生产过程监控系统作为MES中重要子系统，实现了产品生产流程和设备工艺参数的匹配监控，对于提高设备产能，保证设备自动化运转发挥了重要作用。半导体行业作为资本集中与工艺复杂的代表行业，单纯依靠人工进行生产监控存在信息量少，差错率高且信息滞后等问题，严重影响设备产能。因此，面向半导体行业研究并实施基于MES平台的生产过程监

4、控系统是十分必要的。本文分析了半导体企业的现状和半导体行业业务流程，针对传统半导体企业单纯依靠人工进行生产监控的弊端，研究了基于MES的生产过程监控系统的解决方案。针对当前MES解决方案面向特定行业中特定企业的现状，本文基于半导体设备通信标准(SECS)对设备通信信息格式进行了研究，提出了通过增加信息项实现格式扩展性的方法，并在此基础上优化了基于MES的生产过程监控系统的数据采集模块，使之可以兼容不同的设备通信格式；通过对MES相关理论和基于MES的过程管理功能模型的研究，设计了系统的总体结构、功能模块

5、和系统数据库，并最终实现了原型系统；通过测试验证了系统的功能，系统的应用使半导体企业生产过程监控的效率有了显著的提高，具备良好的经济效益和社会效益。关键词：制造执行系统；CORBA；过程监控；半导体设备通信标准分类号：TP311．52一_●ABSTRACTABSTRACT：Nowadaysmoreandmoremanufacturingcompaniesaccordingtotheirbusinessprocessesmanagetheproductionandimproveequipmentprodu

6、ctivitythroughthedeploymentandimplementationofmanufacturingexecutionsystems(MES)．Asalinkbetweenprocesscontrolsystem(PCS)andenterpriseresourceplanning(ERP)，MEScancommunicatewiththemandtransmitinformationinproductionprocess．Theproductionprocessmonitoringsy

7、stemisanimportantsubsystemofMES，whichcancheckmatchingbetweenproductionprocessesandequipmentparameters．Thesystemcanhighlyincreasetheequipmentproductivity．Semiconductorindustryischaracterizedbyintensivecapitalandcomplexprocesses．Onlyrelyingonmanualmonitori

8、ngofproduction，therearemanyproblems，suchaslessinformation，higherrorrateandSOon．ItisnecessaryforsemiconductorcompaniestoimplementtheproductionprocessmonitoringsystembasedonMES．Thispaperanalyzesthestatusofsemiconductorcompan