微电子器件测试系统自检模块校准规范

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1、附件:行业计量技术规范项目建议书建议项目名称微电子器件测试系统自检模块校准规范制定或修订■制定□修订被修订计量技术规范号计量技术规范性质□检定规程■校准规范计量技术规范类别■重点□基础主要起草单位中国电子技术标准化研究院联系人李洁联系电话01064102268任务年限2年申请经费5万参加单位中国电子科技集团第20研究所目的、意义和必要性1＞目的：目前常用的微电子器件测试系统均配有自检模块，女n：半导体分立器件测试系统、电磁继电器测试系统、混合信号测试系统、大规模集成电路测试系统、混合集成电路测试系统、动态测试系统、电压调整器测试系统等。微电子器件测试系统

2、自检模块主要用于微电子器件测试系统的日常自行准确性和工作正常性检测。本规范编制的主要目的是解决微电子器件测试系统自检模块的溯源问题。2、意义:该规范的编制，能够规范统一微电子辭件测试系统自检模块的校准工作，为新制造、使用中及修理后的微电子器件测试系统自检模块的首次校准、后续校准和使用中检验提供依据，解决目前微电子器件测试系统自检模块校准工作不能满足需求的现状，为其量值溯源提供依据，为先进轨道交通装备、节能与新能源汽车等中国制造2025重点应用领域屮基础性测试系统自检模块的质量保驾护航。3、必要性、迫切性：目前国家和电子行业尚无微电子器件测试系统自检模块的

3、校准规范，与之相关的有JJG166-1993《直流电阻器检定规程》、JJG445-1986《直流标准电压源检定规程》和JJG（电子）310002-2006《半导体分立器件直流参数测试仪检定规程》，但上述这些规程的测量参数、量程、技术指标和操作方法等均无法满足校准的需要。本规范的编制，将统一微电子器件测试系统口检模块校准，解决其量值溯源问题。微电子器件测试系统自检模块主要功能是提供标准电压、标准电阻和标准时间来对测试系统内部的测量单元进行检测，以此判断测试系统是否在规定的最大允许误差范围内；功能是否正常；测量误差是否符合指标要求。微电子器件测试系统自检模块

4、是测试系统的关键设备，随着中国制造2025的发展，微电子器件测试系统也向着大规模集成化、高可靠性、高灵敏度、高速的方向发展，对微电子器件测试系统的测量准确度的要求也越来越高，而微电子器件测试系统自检模块正是反映其测量能力的关键指标，微电子器件测试系统自检模块的准确性对元器件和电子装备的质量控制具有重要意义。因此在新一代信息技术产业、高端装备、新材料、智能汽车、智能机器人、高性能医疗器械等中国制造2025重点领域突破发展过程屮都极具实用价值。微电子器件测试系统主要用于核心零部件的测试，其质量好坏关系到元器件及电子装备的质量，间接关系到航空航天装备、新一代信

5、息技术产业等中国制造2025重点应用领域的可持续发展。4、先进性和亮点、社会效益和推广应用前景：所中请微电子器件测试系统自检模块校准规范适用范围为：新制造、使用中及修理后的微电子器件测试系统自检模块的首次校准、后续校准和使用中检验，先进性为：通过研究微电子器件测试系统ii检模块的标准电压、标准电阻、标准时间等参数的校准方法,解决目前微电子器件测试系统自检模块校准工作无规范依据的现状，为其量值溯源提供依据，为新一代信息技术产业、高端装备、新材料、智能汽车、智能机器人、高性能医疗器械等中国制造2025重点应用领域的可持续发展保驾护航。5、查新结果：目前国家及

6、部门均不具备该类设备校准规范，迫切需要制定相关规范。1、计量技术规范的适用范围本规范适用于新制造、使用中及修理后的微电子器件测试系统自检模块，直流电压：土（lmV〜1OOV）；直流电阻：lmQ〜1OOMQ；频率：1kHz〜100MHz,交流电压：0.1V〜20V的测试系统自检模块的首次校准、后续校准和使用中检验。大允许2、主要计量特性的技术指标，包括其名称、测量范围和］误差范围和主要计量特性1）标准电压直流电压范围：±（lmV〜100V）,最大允许误差：±0.05%2）标准电阻直流电阻范圉：lmQ〜100MQ,最大允许误差：±0.05%3）频率频率范围：

7、1kHz〜100MHz,最大允许误差：±0.001%4）交流电压交流电压范围：0」V〜20V,最大允许误差：±0.1%3、计量技术规范的校准项目直流电压、直流电阻、频率、交流电压。水平□国际先进■国内先进国内外情况简要说明1.与国内相关技术规范之间的关系；目前国内的《JJG（电子）310002・2006半导体分立器件直流参数测试仪》检定规程屮，只规定了直流电阻参数的校准方法，且范围没有完全覆盖需求，规程中并没有对直流电压、频率、交流电压参数进行相关的规定，所以迫切需要制定相关规范。2•指出是否发现有知识产权的问题，或涉及专利的情况；目前未发现有该类设备的

8、知识产权或涉及专利的情况。主要起草单位（签字、盖公章）月口技术委员会（签字、盖公