稀土行业标准《钪铝合金靶材》（预审稿）编制说明

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1、稀土行业标准《钪铝合金靶材》（预审稿）编制说明一、工作简况1.1立项的目的和意义《钪铝合金靶材》是属于国家稀土稀有金属新材料研发和产业化项目重点支持的对象之一，近年来，靶材主要应用于电子及信息产业，如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等；亦可应用于玻璃镀膜领域；还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。根据形状分为长靶，方靶，圆靶，三角形靶；根据成份可分为金属靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材；根据应用不同又分为半导体关联陶瓷靶材、记录介质陶瓷靶材、显示陶瓷靶材、超导陶瓷靶材和巨磁电阻陶瓷靶材等；根

2、据应用领域分为微电子靶材、磁记录靶材、光碟靶材、贵金属靶材、薄膜电阻靶材、导电膜靶材、表面改性靶材、光罩层靶材、装饰层靶材、电极靶材、其他靶材。随着微电子等高科技产业的高速发展及对靶材需求的领域不断的增加，中国的靶材市场将日益扩大，钪铝合金靶材的发展将迎来了新的机遇和挑战，国内每年钪铝合金的产量达到了1000吨，国内钪铝靶材的需求量超过了5000片，产值达5亿元以上，市场前景广阔。目前国外制备靶材最好的国家主要以日本、美国及德国为主，国外知名靶材生产厂商主要有德国的Singulus technologies、美国的Heraeu

3、s G mb H等企业，其产品具有纯度高、晶粒细小及均匀，利用率高（≥85%）的特点。国内靶材生产企业主要惠州拓普、有安泰科技、湖南稀土金属材料研究院、有研亿金等；国内生产的稀土金属及合金靶材致密度不高，晶粒大小及分布不均，材料利用率低下（＜60%），与国外先进水平具有很大的差距。由于64兆位DRAM以上的大规模集成电路的线条宽度≤0.3微米，继续发展甚至可望达到0.01微米，这就要求配线材料具有低电阻、高耐热性和良好的加工性能，由于硅的屏膜和接触孔的封闭多采用高融点金属，迄今使用的主要是高纯铝为配线材料，其在高温喷镀等制造工

4、艺中经常发生断线现象，而用铝硅铜合金等其它材料取代，又会降低电导率。但是，采用铝钪合金靶材作为配线材料，可以提高硬度，改善应力位移，有效地避免与铝原子流出、断线有关的电子迁移，既能保持与高纯铝相同的电导率，而且与铝硅铜系靶材配线材料相比，铝钪合金靶材能数倍地改善电子迁移和应力位移。是大规模集成电路的优选材料，由于铝钪合金靶材所具备的优越性能促进了中国的铝钪合金靶材市场的日益扩大。在国内，钪铝合金靶材产品得到了有效的开发，该产品的生产也已初具规模，但是，到目前为止国内没有一个统一的产品标准，不利于解决市场交易的纠纷，标准制定有利

5、于规范钪铝合金靶材的生产，扩大应用范围，提升应用水平；因此制定钪铝合金靶材产品标准成了必然发展的趋势。该标准可为钪铝合金靶材产品贸易提供仲裁的依据；为钪铝合金靶材产品的指标控制提供指导意义。1.2任务来源根据“工业和信息化部办公厅关于印发2018年第二批行业标准制修订计划的通知”（工信厅科〔2018〕31号），行业标准修订计划正式下达，项目编号为2018-0636T-XB，完成年限为2019年。全国稀土标准化技术委员会于2018年8月8日-10日在内蒙古包头市召开的《2018年度第四次稀土标准工作会议》上完成了《钪铝合金靶材》

6、行业标准的任务进度、具体的时间节点安排及参与单位等具体任务的落实。落实情况如下：《钪铝合金靶材金》行业标准由湖南稀土金属材料研究院牵头负责标准制订，报名参加起草单位有：包头稀土研究院、有研稀土新材料股份有限公司、国合通用测试评价认证股份公司等，同时确定标准制定工作进度，2018年10月起草单位提出标准意见稿发至各有关单位及稀土标委会秘书处征求意见；于2018年10月底起草单位完成意见汇总，形成标准预审稿、编制说明、意见汇总等发至稀标委秘书处，2018年11月底前稀标委召开标准预审会议，2019年3月底前在预审会的基础上对预审稿

7、、编制说明、意见汇总处理进行修改、调整，标准编制小组达成一致意见后形成送审稿，并将相关资料发送稀标委秘书处。2019年4月底前完成标准审定。1.3起草单位项目承担单位湖南稀土金属材料研究院创建于1958年，一直从事稀土科研和军用稀土新材料试制工作，是我国最早从事稀土材料应用研究开发的科研单位，同时也是有色军工稀土新材料研制开发的定点单位。我院现有在职职工360人，其中：教授级高级工程师7人、高级工程师48人、工程师等技术骨干77人、享受政府津贴的专家7人，技术力量雄厚，在氧化钪与金属钪、铝稀土合金，高纯中重稀土氧化物、稀土超细

8、微粉、高纯稀土金属和合金型材(棒、片、粉、粒、丝、管、箔)、金属靶材、稀土储氢材料、六硼化镧阴极材料、稀土激光晶体材料、稀土磁致伸缩材料等方面研究处于国内领先水平。作为长期从事稀土材料开发应用单位，湖南稀土金属材料研究院先后主持及参与了《六硼化镧化学分析方法》、《金属钪》、《