多晶铸锭炉技术参数123

《多晶铸锭炉技术参数123》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在工程资料-天天文库。

1、附件1：JZ-460/660多晶铸锭炉技术参数一、JZ-460/660型多晶铸锭炉介绍JZ-460/660型多晶铸锭炉能牛产520KG/660KG-800KG优质的多晶硅锭，本设备的牛产量很大，能在60个小时的时间内生产岀合格的硅锭。设备操作简单，直观的界面，给操作人员节省很多时间来处理设备的运行情况，从而极大的提高了生产效率，节约了成本。JZ-460/660型多晶铸锭炉使用高纯度的内涂氮化硅的石英圮垠，运行过程中，通过隔热层的提升，在热场内产生温度梯度，从而由下往上定向长晶，在整个长晶过程中只有隔热层一个部件在运动，大大减少了故障的发生，从而提高了炉子的

2、稳定性能。整个工艺过程分为装料，抽真空，检漏，加热，熔化，长晶，退火，冷却。装料是在喷有氮化硅涂层的石英坨堀内，在保证不破坏涂层的条件下，进行装料。装完料后开始抽真空，当压力降到0.OOSmbar时即可检漏，如果设备检漏通过，此时我们即可开始自动运行设备，按照配方工艺步骤运行。在晶体生长过程中，一般自圮埸底部开始降温,当硅熔体温度低于熔点时，在接近塩坍底部处首先凝固，形成许多细小的核心，然后横向生长，当核心相互接触时，再逐渐向上生长，长大，形成柱状晶，柱状方向与晶体方向平行，直至所有的硅熔体都结晶为止，这样制备岀来的多晶硅的晶粒大小，晶界结构,缺陷类型都很

3、相似。对于重量为520kg的铸造多晶硅而言，硅锭尺寸一般为840*840*316mmo目前JZ-460/660炉型已被著名硅片制造厂家批量采用，稳定生产岀高质量的硅锭。二、JZ-460/660型多晶铸锭炉使用需要的环境条件（户内）a）环境温度：20±5°Cb）环境湿度：W65%（不结露）c）地质震动要求：外界震源：当大于10HZ时，振幅小于0〜0.003mm三、我公司JZ-460/660多晶铸锭炉技术性能参数表序号项目参数备注1电源电压380VAC2电源频率50I1Z3电源相数3相4电源功率200KW真空机组电源功率11.5KW,电控系统电源10KW5圮烟

4、尺寸520〜550Kg870X870X480mm推荐660〜800Kg1040XI040X480mm推荐6铸锭尺寸520Kg840X840X316mm660Kg1000X1000X283mm7炉内真空度抽空极限真空度IPa以下长晶等阶段工作压力600mbar允许泄漏量W2Pa/5min测量范围0.0133〜1.33X10BPa8炉内温度与测量最高极限温度1575°C测量最高温度1800°CR型热电偶重复精度：土0.5°C红外测温仪重复精度：+rc9内/外部尺寸炉体内直径C2100mm炉体内高度2625mm下腔室升降行程950mm隔热钢笼升降行程380mm主

5、机（长X宽X高）3230X3200X4850mm平台（含单边梯子）（长X宽X高）5160X4730X4160mm10重量主机5500kg平台3350kg11冷却水入口压力最大0.45MPa入、出口压力差0.25MPa入口水温W28°C（最好24±1°C）流量160〜180L/min12备用水（紧急情况）流量>160L/min停水时能立即换至备用水维持时间$10h13所需氮气压力0.3MPa以上可选项用量6〜7n?/硅锭14所需氮气压力0.3MPa以上用量70〜75n?/硅锭流量控制范围0〜200L/min15压缩空气压力0.5〜0.7MPa用量0.5m3/

6、炉流量100L/min16所需真空机组电源电压380V功率11.5KW频率50Hz相数3相17所需电控系统电源电压380V功率10KW频率50Hz相数3相18所需加热系统电源电压380V功率200KW频率50Hz相数3相19泄露率

7、径①76mm24叉车（选配）提升高度最大2000mm载重量最大lOOOKg前脚高度最大110mm两只前脚宽度最大1300mm25UPS（选配）3000VA,16只，12V,24AH四、供货清单序号货物名称规格型号单位数量备注1主机JZ-460/660台—、1、Z2L乐适通2电控柜厶、•、一*、工3变压器电源柜台英杰电器4真空机组台力鑫5热场套西格里石墨美国UC保温毡五、变压器技术规范1.输入额定电压：变压器每相带3个抽头3AC380V,3AC400V,3AC420V额定频率：50/60HZ电压波动范围：342V~418V2.输出额定容量：200KW额定电压

8、：3AC25V3.其他加热控制方式：定周期调功方式调压方式：变压器