薄膜型超磁致伸缩微执行器的研究现状_2

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1、从本学科出发，应着重选对国民经济具有一定实用价值和理论意义的课题。课题具有先进性，便于研究生提出新见解，特别是博士生必须有创新性的成果薄膜型超磁致伸缩微执行器的研究现状　　注意：本文已在《压电与声光》(XX,22(3):157～159,167)杂志发表，使用者请注明文章出处贾振元武丹杨兴郭东明郭丽莎(大连理工大学机械工程学院)摘要超磁致伸缩薄膜是一种性能优良的新型微驱动元件，在查阅大量文献的基础上，介绍了超磁致伸缩薄膜驱动的原理，综述了薄膜型超磁致伸缩微执行器的开发和最新研究成果，重点介绍了薄膜型超磁致伸缩微执行器在微流体控制系统

2、中的应用，在线性超声微马达中的应用和在微小型行走机械中的应用，并对超磁致伸缩薄膜在微执行器中的发展提出了展望。关键词超磁致伸缩微执行器薄膜分类号TP2420引言课题份量和难易程度要恰当，博士生能在二年内作出结果，硕士生能在一年内作出结果，特别是对实验条件等要有恰当的估计。从本学科出发，应着重选对国民经济具有一定实用价值和理论意义的课题。课题具有先进性，便于研究生提出新见解，特别是博士生必须有创新性的成果微型机电系统技术是一个新兴的技术领域,而微执行器又是复杂微机电系统的关键技术之一.常用的微执行器根据其驱动方式可分为压电式、静电式

3、、形状记忆合金驱动等。压电式和静电式微执行器是目前应用较广泛的微执行器，它们具有精度高、不发热、响应速度较快等优点，但输出力小、驱动电压高等缺点也限制了它们的应用；而形状记忆合金虽然是已知的功能材料中变形量最大的，但它的响应速度较慢，且变形不连续，因而也限制了其应用。超磁致伸缩材料是一种新型高效的磁—机械能转换材料，具有应变大、能量密度高、机电藕荷系数大、响应速度、输出力大等优点。从其诞生开始，便引起了工业界的重视，已广泛地应用于减震、阀门控制、微定位、机械传动机构、振动器、传感器及声纳系统等方面。课题份量和难易程度要恰当，博士生

4、能在二年内作出结果，硕士生能在一年内作出结果，特别是对实验条件等要有恰当的估计。从本学科出发，应着重选对国民经济具有一定实用价值和理论意义的课题。课题具有先进性，便于研究生提出新见解，特别是博士生必须有创新性的成果近年来，在磁致伸缩应用领域又出现了一个新的研究热点—超磁致伸缩薄膜的研究与应用。许多研究者采用溅射方法在非磁性基片上制备了稀土—过渡金属非晶薄膜，并对薄膜的结构和磁致伸缩特性进行了研究，发现磁致伸缩薄膜具有良好的软磁性能，磁晶各向异性值低，在室温和低磁场下能产生很大的磁致伸缩应变。与通常的体磁致伸缩材料相比，超磁致伸缩薄

5、膜的制造过程容易和传统的半导体工艺联系起来,因而成本较低,并且由于薄膜中的二维磁弹性相互作用使超磁致伸缩材料又具有一些新的功能,这对于超磁致伸缩材料的实际应用具有重要意义.可以说，正是由于超磁致伸缩薄膜材料的种种优点，决定了其在微型执行器中有着不可估量的发展前景。目前，从事微型机电系统技术方面的研究人员已将目光纷纷投向这一新型的驱动方式。[1～4]１．薄膜型超磁致伸缩微执行器的原理目前的薄膜型超磁致伸缩微执行器主要采用薄膜式和悬臂梁式。其基本的驱动原理是利用非磁性基片，采用闪蒸、离子束溅射、电离镀膜、直流溅射、射频磁控溅射等方法进

6、行镀膜，在基片上形成具有磁致伸缩特性的薄膜材料，当有外加磁场时，薄膜会产生变形，带动基片进行偏转和弯曲从而达到驱动目的。为了得到较大的变形，通常在基片的一侧镀上具有正磁致伸缩效应的薄膜材料,而在基片的另一侧镀上具有负磁致伸缩效应的薄膜材料(λ0)，下面为相同厚度的Sm-Fe薄膜(λ课题份量和难易程度要恰当，博士生能在二年内作出结果，硕士生能在一年内作出结果，特别是对实验条件等要有恰当的估计。