龙翩镀膜机操作说明

《龙翩镀膜机操作说明》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在应用文档-天天文库。

1、一、主系統操作螢幕1.1監控系統選單地圖MainmenuOpenDataFileDepositionGlassChangeUtilityDataEditReferScanDepProcessSetLayerDarkScanQuitAnalysisEgunDataSpectrumconfigHardwaretestMaterialtestViewrecordsSetLayereDepProcessigReferScandReturnViewSpectrumEgunDataRAnalysiseQuitReferScanDepProcesSetLayerDarkScanQu

2、itQSetLayeruDepProcesiReferScantReferScanDepProcessSetLayerDarkScanQuit(圖1.1.1)481.2蒸鍍中流程圖(1)Mainmenu(主選單)(2)Opendata(開啟製程檔)(3)Deposition(蒸鍍製程)(11)Referscan(選取參考波長)(10)DarkScan(暗電流校正)(7)Dataedit(修改檔案)(4)Depprocess(蒸鍍模式)鍵入Esc離開蒸鍍畫面或蒸鍍異常使用→(9)Setlayer(設定起始層)(8)Analysis(分析)修改檔案後需做分析(6)蒸鍍結束

3、(5)蒸鍍中畫面(圖1.2.1)(圖1.2.1)為蒸鍍時標準作業程序，其編號及功能如圖所示。1.程序(1)、(2)、(3)、(4)、(5)、(6)為一個基本作業程序。2.假設我們是建立一個新的製程檔或修改舊的製程檔，作業程序為(1)、(7)、(8)、(3)、(4)、(5)、(6)。3.程序(10)需將光源power關閉後才可做暗電流校正(不需常做)，程序(11)選取參考波長，需對新的監控片做Referscan，作業程序為(1)、(2)、(3)、(10)、(11)、(4)、(5)、(6)。4.假設我們在蒸鍍中發生異常(電腦當機)需使用Setlayer模式重新進入當層，作

4、業程序為(1)、(2)、(3)、(4)、(5)、(9)、(4)、(5)、(6)。48(注意:當進入此模式時，千萬不要對監控片做Referscan之動作，且需手動由手動控制當層蒸鍍，完成時按下Esc,移動左右鍵至FinsishOk!,完成當層蒸鍍。)1.如果當層鍍的太少,可按下Esc,移動左右鍵至cont補鍍,但是得用手動至FinsishOk!,完成當層蒸鍍。其作業程序為(1)、(2)、(3)、(4)、(5)、(6)。481.3主系統操作選單1)進入電腦系統之自動控制軟體程式子目錄C:CDGHBIN或C:BINENTER2)執行MAIN.EXE進入主選單C:M

5、AINENTER開始進入鍍膜製程3)出現主系統操作選單如下：設定蒸著產品OpenDataFileDepositionGlassChangeUtilityQuit自動修改檔案中監控片設定公用程式蒸著產品資料之顯示，其內容詳見2.1、產品資料檔說明(註：下圖所顯示之資料檔會紀錄前一個製程檔所產生的data值)Title:TheProductandData5RefWave550MatThickMethodErrormglasscrucibleGasE_Gun_No.Vaccum131.0110.00131212252.010.0021010.0481.4開啟製程檔OpenD

6、ataFileOpenFileRoutineTemplateFile:Monit.DATCopytoFile->MONIT.DATPC_GREEN.DATPC_BLACK.DAT¨移動上下游標即可選擇產品製程¨若要產生新的資料檔，可從TemplateFile先選擇樣板檔，再移動游標至CopytoFile處，鍵入新檔名(註:原本的製程檔不會被修改或被覆蓋)。注意檔名需加附屬名".DAT"。例如:在TemplateFile:blue10.dat輸入欲加修改之檔名CopytoFile->blue11.dat輸入新檔名並加副檔名.dat1.5監控片設定GlassChange維

7、持原設定反白處，輸入第一層監控片號碼，電腦會自動修改其餘各層。若不更動，連續按两次Enter即可。監控片第12片不可跨第一片使用(防止重複使用)48二、公用程式Utility製程資料修改蒸發源電流及融藥時間修改硬體和軟體介面通訊測試手動之製程操作模式，也可用於量測光譜前次製程檔案記錄，用於檢查前30次製程，每一層結束時之畫面膜厚光譜分析和監控波長選擇材料測試用製程監控分析和監控製程環境條件設定DataEditAnalysisEgunDataSpectrumConfigHardwareTestMaterialTestViewRecordReturn48