第十八届全国化合物半导体材料,微波器件和光电器件学术会议

《第十八届全国化合物半导体材料,微波器件和光电器件学术会议》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在应用文档-天天文库。

1、为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新项目的正常、顺利开展，特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计划第十八届全国化合物半导体材料,微波器件和光电器件学术会议　　1课题意义　　GaN材料的研究与应用是目前全球半导体研究的前沿和热点，是研制微电子器件、光电子器件的新型半导体材料，并与SIC、金刚石等半导体材料一起，被誉为是继第一代Ge、Si半导体材料、第二代GaAs、InP化合物半导体材料之后的第三代半导体材料[1]。GaN以其具有的宽直接带隙、强的原子键、化学稳定性好几乎不被任何酸腐蚀等特性和强的抗辐照能力，

2、成为目前全球半导体材料研究行业的热点之一。GaN材料的兴起是以GaN的p型掺杂为突破点的，以高效率蓝绿光LED和蓝光LED的成功研制作为标志的[2]。而后成为研制高频大功率、耐高温、抗辐照半导体微电子器件和电路的理想材料，在通信、汽车、航空、航天、石油开采以及国防等方面亦有着广泛的应用前景。目的-通过该培训员工可对保安行业有初步了解，并感受到安保行业的发展的巨大潜力，可提升其的专业水平，并确保其在这个行业的安全感。为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新项目的正常、顺利开展，特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培

3、训计划　　GaN及其合金材料不仅具有宽的带隙,而且还具有热导率大，电子饱和速度高，击穿场强大等优良性质，因此，在发展短波长光电子器件、大功率、高温电子器件和高频微波器件方面有着十分广阔的应用前景。目前对GaN材料的研究热潮将会对光电子技术、现代通讯、信息存取等高新技术产业带来重要的影响。某调研机构指出，GaNLED市场中，照明的份额预计会从XX年的21%升为XX年的49%；照明LED收入预计增长超过300%[3]。而法国里昂Yole市场研究公司在一份名为“XX年GaN市场”的报告中也预测氮化镓功率电子设备市场2019年

4、将增长到10亿美元[4]。目前对GaN材料的研究热潮将会对光电子技术、现代通讯、信息存取等高新技术产业带来重要的影响。　　2国内外研究现状　　GaN材料系列用于实用器件方面的研究始于70年代初。但在长达20多年的研究探索中，GaN在半导体器件制备方面的研究进展缓慢。最主要的两个障碍是：目的-通过该培训员工可对保安行业有初步了解，并感受到安保行业的发展的巨大潜力，可提升其的专业水平，并确保其在这个行业的安全感。为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新项目的正常、顺利开展，特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计划

5、　　(1)由于不能生长较大的块状GaN单晶，所以在异质外延GaN过程中，缺乏在晶格常数和热膨胀系数上与GaN相匹配的衬底材料；(2)不能获得具有较高空穴浓度的p-GaN材料。经过长期的努力探索，到80年代末，研究者通过利用在异质衬底(如SiC、蓝宝石等)上先生长一层过渡层的方法获得了较低缺陷密度的GaN薄膜，从而解决了GaN薄膜的外延衬底问题。与此同时，研究人员在制备低阻p-GaN材料方面又开发了低能电子辐射(LEEBI)处理技术，得到了满足器件应用需要的p-GaN。继GaN器件技术取得进展后，在GaN蓝色发光器件的应

6、用方面首先取得了重大突破，引起了光电子学界很大轰动。几个重要的发展阶段是[5]：1992年，日本日亚公司(Nicha)研制成功当时最亮的双异质结蓝色发光二极管(LED)，发光强度是1cd，约为SiC蓝色LED的100倍；1995年，日亚公司制成了效率更高、更亮的单量子阱蓝色和绿色LED，其发光强度分别为和12cd；1996年，室温下工作的GaN蓝紫色激光二极管(LD)问世，波长为417nm，这是迄今为止由半导　　体激光器发射的、最短波长的室温下受激发射。　　GaN材料的特性　　GaN是极稳定的化合物，又是坚硬的高熔点材

7、料，熔点约为1700℃，GaN具有高的电离度，在Ⅲ—Ⅴ族化合物中是最高的。在大气压力下，GaN晶体一般是六方纤锌矿结构。它在一个无胞中有4个原子，原子体积大约为GaAs的一半。因为其硬度高，又是一种良好的涂层保护材料。　　GaN的化学特性　　在室温下，GaN不溶于水、酸和碱，而在热的碱溶液中以非常缓慢的速度溶解。NaOH、H2SO4和H3PO4能较快地腐蚀质量差的GaN，可用于这些质量不高的GaN晶体的缺陷检测。GaN在HCl或H2气下，在高温下呈现不稳定特性，而在N2气下最为稳定。　　GaN的电学特性　　GaN的电学

8、特性是影响器件的主要因素。未有意掺杂的GaN在各种情况下都呈n型,最好的样品的电子浓度约为4×1016/cm3。一般情况下所制备的P型样品，都是高补偿的。目的-通过该培训员工可对保安行业有初步了解，并感受到安保行业的发展的巨大潜力，可提升其的专业水平，并确保其在这个行业的安全感。为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新项目的正常