真空镀膜及材料生长

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1、为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新项目的正常、顺利开展，特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计划真空镀膜及材料生长　　第十章真空镀膜工艺　　为使光学零件能满足在光电仪器及元器件中所需的光学，电学，物理性能，而可以在其表面上镀一层，多层乃至上百层的薄膜。例如增透膜、反射膜、分光膜、滤光膜、电热膜、保护膜、偏振膜等。光学零件的镀膜主要分物理和化学镀膜两类。由于真空技术和膜系监控技术的发展，较易获得性能稳定，结构复杂的膜层。故在生产中多以真空镀膜法为主。　　按照薄膜的使用性能分类，常见的膜层有：增透膜，反射膜，分光膜，滤光膜，电热膜，导电膜及保护膜等。　　按照薄

2、膜的结构可以分为单层膜，双层膜及多层膜等。下面我们将就真空镀膜的基本知识作一些介绍。　　一、真空的获得　　1．真空的基本知识　　“真空”是指压力低于一个大气压的任何气态的空间。在这种空间中气体是比较稀薄的，至少比大气要稀薄，但是绝对的“真空”，即没有任何气态微粒的空间是找不到的，就是在远离地球一万公里处、每立方厘米也有3～4千个空气的分子。目的-通过该培训员工可对保安行业有初步了解，并感受到安保行业的发展的巨大潜力，可提升其的专业水平，并确保其在这个行业的安全感。为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新项目的正常、顺利开展，特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计

3、划　　由于真空度大小仍然是气体压力大小的问题，所以计量压强的单位也就是计量真空度的单位。国际标准单位为帕斯卡，也可用“托”(Torr)、“巴”(bar)和“毫巴”(mbar)来计量，他们之间的关系如下式：　　1标准大气压=×105帕斯卡=760托(Torr)=×103毫巴　　2．为什么需在真空中镀膜　　在常压下蒸镀膜料无法形成理想的薄膜，事实上，如在压力不够低(或者说真空度不够高)的情况下同样得不到好的结果，比如在10?2托数量级下蒸镀铝，得到的膜层不但不光亮，甚至发灰、发黑，而且机械强度极差，用松鼠毛刷轻轻一刷即可将铝层破坏。蒸镀必须在一定的真空条件下进行，这是因为：　

4、　．较高的真空度可以保证汽化分子的平均自由程大于蒸发源到基底的距离。　　由于气体分子的热运动，分子之间的碰撞也是极其频繁的，所以尽管气体分子运动的速度相当的高(可达每秒几百米)，但是由于它在前进的过程中要与其它分子多次碰撞，一个分子在两次连续碰撞之间所走的距离被称为它的自由程，而大量分子自由程的统计平均值就被称为分子的平均自由程。　　由于气体压强与单位体积的分子数成正比，因此平均自由程与气体的压强亦成正比。目的-通过该培训员工可对保安行业有初步了解，并感受到安保行业的发展的巨大潜力，可提升其的专业水平，并确保其在这个行业的安全感。为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新

5、项目的正常、顺利开展，特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计划　　在真空淀积薄膜过程中，当淀积距离大于分子的平均自由程时被称为低真空淀积，而当淀积距离小于分子的平均自由程时被称为高真空淀积。在高真空淀积时，蒸发原子(或分子)与残余气体分子间的碰撞可以忽略不计，因此汽化原子是沿直线飞向基片的，这样保持较大动能到达基片的汽化原子即可以在基片上凝结成较牢固的膜层。在低真空淀积时，由于碰撞的结果会使汽化原子的速度和方向都发生变化，甚至可能在空间生成蒸汽原子集合体—其道理与水蒸汽在大气中生成雾相似。　　．在较高的真空度下可以减少残余气体的污染　　在真空度不太高的情况下，真空

6、室内含有众多的残余气体分子(氧、氮、水及碳氢化合物等)，它们能给薄膜的镀制带来极大的危害。它们与汽化的膜料分子碰撞使平均自由程变短；它们与正在成膜的表面碰撞并与之反应；它们隐藏在已形成的薄膜中逐渐侵蚀薄膜；它们与蒸发源高温化合减少其使用寿命；它们在已蒸发的膜料表面上形成氧化层使蒸镀过程不能顺利进行……。　　二、真空测量　　现代真空技术的发展使人们已经可以测量从大气压一直到10-12Pa的真空压强，当然只使用一种真空计完成在这么广泛的区间内的测量工作是不可能的，因此人们常常使用几种真空计分别完成各自范围的真空测量。目的-通过该培训员工可对保安行业有初步了解，并感受到安保行业

7、的发展的巨大潜力，可提升其的专业水平，并确保其在这个行业的安全感。为了适应公司新战略的发展，保障停车场安保新项目的正常、顺利开展，特制定安保从业人员的业务技能及个人素质的培训计划　　下面分别介绍一下我司真空镀膜机上常用的几种真空计：　　a.热偶真空计和皮拉尼真空计　　在一定范围内，气体的热传导率是压力的函数，这就是热偶真空计和皮拉尼真空计的测量原理。　　热偶真空计采用直接测量温度变化的方法来进行工作。在加热电流维持恒定时，如果气体压强降低，则气体热传导系数减少，热偶工作端的温度升高，相应的热电动势即要增加，通过压强和电动势的关