真空室真空度保持稳定的控制系统设计论

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1、目录中文摘要1英文摘要.21绪论31.1课题研究的目的和意义31.2国内外研究概况31.3论文的主要研究内容42系统设计方案42.1系统设计原理框图42.2单片机原理52.2.1单片机原理概述52.2.3AT89C51简介63系统硬件设计83.1系统整图83.2电离真空计93.2.1电离真空计概述93.2.2热阴极电离真空计的工作原理93.3电离规信号采集放大电路113.4A/D转换133.4.1ADC0809内部逻辑结构133.4.2ADC0809外部引脚143.4.3ADC0809转换原理163.4.4A/D转换电路设计163.5单片机最小系

2、统173.5.1时钟电路183.5.2复位电路193.5.3状态指示电路193.6驱动电路203.6.1步进电机介绍203.6.2步进电机驱动系统简介213.6.3步进电机功率驱动电路224系统软件设计244.1系统开发软硬件环境244.2Keil软件介绍244.3程序设计254.3.1主程序框图254.3.2子程序框图274.4程序代码285仿真与调试285.1Proteus软件介绍285.2Proteus和Keil调试仿真29结论33谢辞33参考文献34附录1系统电路图35附录2程序代码37真空室真空度保持稳定的控制系统设计摘要：真空镀膜技术

3、是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。但是真空镀膜的时间一般都很长，有的长达几十个小时，真空室真空度的稳定性对膜的生长，成膜质量的好坏有很大的影响。因此，如何保持真空度的稳定，也成为了一个关键性的技术问题。本文简要的介绍了利用单片机实现真空度稳定控制的工作原理，阐述了软、硬件的具体实现方法。该设计主要通过真空计信号采集放大电路，获得与真空室内真空度相对应的模拟电压值,并经过A/D转换器转换为数字量送入单片机，单片机处理后给出相应步进电机正反转信号，带动调节阀转动

4、，改变真空泵抽气量的大小，从而达到稳定真空度的目的。关键词：真空镀膜技术；真空度稳定；单片机；A/D转换器；步进电机第41页Abstract：Physicalandchemicalmethodsareappliedinvacuumcoatingtechnologycoatingsolidsurfacewithalayerofspecialpropertiesofthecoatingtoimproveproductquality,extendproductlife,saveenergyandachievesignificanttechnicalan

5、deconomicbenefits.However,thetimeofvacuumcoatingisgenerallyverylongandsomeuptotensofhours.Thestabilityofvacuumofthevacuumchamberhasagreateffectonfilmgrowthandfilmquality.Therefore,howtomaintainthestabilityofvacuumhasalsobecomeakeytechnicalproblem.Thispaperbrieflyintroducesthe

6、operationprincipletocontrolvacuumstabilitywiththesinglechipmicrocomputerandthedetailmethodofthehardwareandsoftware.Thisdesignisprimarilytoobtaintheanalogvoltagevaluecorrespondingtothevacuuminvacuumchamberthroughsignalamplificationcircuit,andtransmitdigitalquantity,whichisconc

7、ertedbyA/Dconverter,intothesinglechipmicrocomputer.Thecorrespondingreversingsignalofsteppermotorgivenaftertheprocessingofthesinglechipmicrocomputerdrivesthevalvetotwirl,changesthesizeofthegasoutputandachievesthegoalofremainingstablevacuum.Keywords：vacuumcoatingtechnology;vacu

8、umstability;singlechipmicrocomputer;A/Dconverter;steppermotor第41页1绪论