《验收标准》word版

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1、驗收標準1.測試項目：(A).無塵室之性能測試與驗證，除按照下述要求外，若有遺漏不詳盡敘述之處，仍須依照FED209E及IES-RP-CC006.2之測試標準作驗證。DescriptionAs-BuiltAtRestOperationAirVelocityOfCeilingFiltersüXXAirParallelismüXXCleanlinessüüüRoomPressurizationüXXAirLeakageüXXTemperature/HumidityüüüNoiseüX△Vibration△△XIl

2、luminationüXXStaticElectricityüXXAirBalanceüXü說明：1.ü：須執行。2.△：檢測數據僅供參考。3.X：不須執行。4.微震(Vibration)測試之測量時機為無塵室建造前及建造完成後而製程設備尚未移入前(As-Built)2.標準值(A).(氣流速度)AirVelocityofCeilingFilters(1).此檢測計畫在於確認天花板過濾器出口風速是否合乎規範要求。(2).檢測儀器經校正合格有效期一年內之ThermalAnemometer測試，於檢測前及交付報告

3、時均須檢附校正合格文件。(3).檢測方法(a)檢測點檢測點位於過濾器下方100㎜處，且每一過濾器取六點測試。(b)檢測儀器檢測時須以適當之架台支橕或延伸架固定。(c)每一檢測點須至少維持10秒。(4).驗收標準每一過濾器出口風速須符合設計之規格正負20%內。(B).潔淨度(Cleanliness)(1).此測試在於證明潔淨度合乎無塵室規範要求。(2).檢測儀器Laserparticlecounter–0.3μm×1cfm檢測儀器須經校正合格且一年內者，於檢測前及交付報告時均須檢附校正合格文件。(3).檢測方法

4、每一無塵室潔淨度均須以Laserparticlecounter檢測。(a)檢測點將每一無塵室分割成數個9m2之區域供測試，而測試點位於9m2區域之中心點，高度為高架地板／地板起1,100㎜高度，每一檢測點測試時間為一分鐘。(a)檢測儀器檢測時須以適當之架台支橕或以延伸架固定。(2).驗收標準(a)FS209E落塵控制量清淨度(級數)測定粒子(μm)0.10.20.30.55.01357.531NA10350753010NA100NA750300100NA1,000NANANA1,000710,000NANAN

5、A10,00070100,000NANANA100,000700(b)潔淨室各階段檢測標準清淨度(級數)測定粒子(μm)AS-BUILTAT-RESTOPERATING10251010020501001,0002005001,00010,0002,0005,00010,000100,00020,00050,000100,000(B).室內壓力(RoomPressurization)(1).此測試在確保無塵室依甲方要求均維持在正壓狀態。(2).檢測儀器檢測儀器須經校正合格且有效期一年內者，使用0~5.0mmAq

6、刻度型壓力計或數字型壓差計均可，測試前或交付報告時均須檢附校正合格文件。(3).測試方法(a)檢測點檢測點取每一無塵室地板上方1,100㎜高處測試兩分鐘。(b)室外大氣壓力假設為0.0mmAq壓力。(2).於As-Built階段正常動作下之排氣系統排氣量調整為平衡狀態。(3).驗收標準壓力測試結果須較規範值高0~20%。(B).過濾器洩漏(FilterLeakage)(1).此測試目的在確保所有安裝在天花板格柵系統之過濾器絕無洩漏情形。(2).檢測儀器檢測儀器採Laserparticlecounter–0.3

7、μm×1.0cfm其須經校正合格且有效期為一年以內者，於檢測前及交付報告時均須檢附校正合格之文件。(3).檢測方法(a)於室溫、濕度、室壓及空氣流速等均合乎規範之條件下調整空氣系統至平衡狀態。(b)以過濾器下方100㎜處作為取樣空氣點，取樣探針須全面掃描過濾器是否洩漏，取樣探針掃描速度須≦50㎜/sec，而每一過濾器掃描時間為八分鐘，取樣探針之取樣直徑38㎜∮。(c)過濾器四周可以塑膠覆蓋以確保不洩漏。(4).驗收標準於無塵室內，洩漏量不得大於10pcs/min(≧0.3μmparticle)。(A).溫度及

8、濕度(TemperatureandHumidity)(1).此項檢測係確認無塵室內溫度及濕度均在要求範圍內。(2).檢測儀器(a)檢測精確能力可達±0.1℃之電子溫度計或同級品。(b)檢測精確能力可達±0.5之電子濕度計或同級品。(c)上述檢測儀器均須校正合格且在有效期一年內者。(d)測試前或交付報告時均須檢附校正合格文件。(3).檢測方法(a)無塵室內每區取一點並位於地板上方1,100㎜之高度處。