nmos器件制作流程

《nmos器件制作流程》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在应用文档-天天文库。

1、1．启动exceed；2．启动C:ISEBINGENESISEe，也可为其添加一个快捷方式。3．启动后，出现窗口如图2。图1启动exceed图2ISE7.0启动界面32图3ISE7.0启动界面4.打开ISEproject窗口（双击project图标，左上角），在左边树状图中单击Example_Library_7.0.lnk,NMOS,选中Id_Vd_curves,单击工具栏中的复制图标（下图第三个图标），弹出窗口如图4所示，点击“YesAll”，“Id_Vd_curves”就被复制到“COPYED_OBJECT_【计算机名】”目录下了，此时会在根目录

2、下新建一个文件夹。（如图6）图4点击yes图5工具栏32图6复制后的Id_Vd_curves，第一个文件夹为新建文件夹5.选中复制出来的文件，单击工具栏地7个图标（工具栏见图二）激活文件。激活后文为黄色。（见图6）6.关闭上图窗口6，双击主窗口左边第二个图标“Status”，出现子窗口如图7所示。该窗口右边有9个按钮，其中“edit”配置器件结构的描述、模拟过程、结果显示等所有输入文件，“Runall”即开始模拟，“Abort”可以中断模拟。“Deselect”取消该工程的激活状态，等等。图7Status窗口6.点击cleanerup按钮，出现如下图弹出窗

3、口，点击ok。文件变为绿色。32图8cleanup窗口7.点击edit文件周围会出现一个黑框。此时进入“Id_Vd_curves”工程的修改状态。图9激活后的文件7．双击主窗口左边的“ToolFlow”图标，出现工具使用流程窗口，如图8所示。该窗口左边显示了本工程使用的工具和使用流程，右边是本集成环境可以使用的工具，我们可以把右边的工具拖入到左边的流程中，完成自己的设计。“Id_Vd_curves”这个工程使用了三个工具，另外设置了一个全局参数。该工程的模拟流程为：MDraw把输入的器件二维剖面结构调用Mesh工具产生模拟用的离散化网格，然后Dessis模

4、拟器件的工作，统计数据，得到电流、电场等结果，最后用Inspect把模拟结果用曲线图显示出来，另外也可以用picasso来观察器件内部的电场、电流分布等情况。32图10toolflow窗口8.先选中左侧流程图中的mydraw图标，在点击toolsflow菜单栏中的的edit，出现下拉菜单。图11选中input选项9.选中input项，此时会出现如下窗口。32图12选中boundary选项10.选中boundary项启动mydraw窗口。图13mydraw启动窗口3211．可以同时启动两个mydraw窗口，以便借鉴例子的参数。12.点击mydraw窗口菜单栏

5、file项选择new选项，新建一个文件。图14新建文件32图15新建的文件13.新建后右边作图区清空，我们重新画一个NMOS的二维截面图。画硅基MOS器件的流程一般是：A．作出器件所在的体（单晶硅）；B．作出栅极下的二氧化硅层；C．作出栅极（多晶硅）；D．作出各个接触点（contact）；E．作出表面上方的硅绝缘层（可省略）；F．对各个区域掺杂。14.选择要画的区域使用的材料。点击菜单上的“material”，会弹出很多材料供选择，点击其中的“Silicon”，选择器件所在的体为单晶硅，如图16所示。32图16材料选择15.选择左上按钮中的“AddRect

6、angle”，画体硅矩形（如图16）。为了精确定义体硅区域，我们选中左下选项中的“ExactCoordinates”，如图17所示。32图17精确画图16.在右边作图区任意拖一个框，此时弹出一个对话框，它会让你填写你所画矩形的精确信息，填写内容如图18所示。我们可以将边界坐标定义为区域需要的尺寸大小。32图18衬底尺寸设置17.确定后，作图区出现体硅的图形，如图19所示。图19衬底截面图18.如果产生的图形位置不便于观察，可以选中左边的“Zoom”按钮放大观察，也可以点击其下面的“ZoomOut”按钮缩小观察。如果图形位置不正，可以点击菜单中“View”－

7、“ZoomReset”，图形会自动调整到最佳观察位置。如果产生的图形不合适，可以选中左边的“Delete”按钮，然后再单击作图区中的图形块就可以将该块删除。如果想修改区域边界，选中左边的“MovePoint”按钮，并确保“ExactCoordinates”项选中。此时将鼠标放在一个边界点上，就会弹出一个对话框（如图20），此时可以修改该点坐标，修改后区域形状也随之变化。32如果想作多边形，选中左边的“Multiline”按钮，在右边作图区拖出多边形各条边即可。如果材料选错且已经作好了图形，可以选中左边的“ChangeMaterial”按钮，在菜单上的“Ma

8、terial”中重新选择材料，然后用鼠标点中想要改变材料的区域，此