膜厚仪保养维护作业指导书

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1、文件名称作业指导书膜厚仪保养作业指导书文件编号页次1/6制定部门制订円期1.0、目的：为规范膜厚仪保养作业方法，特制定木作业指导书。2.0、范围：适用于膜厚仪开关机作业及考核、规范等。3.0、定义：无4.0、作业内容：无5.0、注意事项：5.1测试过程中员工必须戴好头套、口罩、手套。5.2夹片时应夹取大平边中间部位l-3mm处。5.3机台属光纤仪器，光纤易折断，切勿触摸光纤及改变机台位置，尽量远离机台，避免不必要的碰撞。6.0、口常保养：6.1、材料及工具使用明细：6.1.1、材料使用明细：项S名称规格描述标准用量01Si基准片lpcs02Si02膜厚标准

2、片lpcs03A1203基准片lpcs6.1.2、工具使用明细:项目名称数量项目名称数量01塑胶镊子1个6.2、保养项目：机台编号保养曰期序号周期计划保养项目标准或处理方法完成打V备注1周膜厚仪校正校正膜厚仪核准审查拟案版本修订内容修订日期符号版木号A修改号0文件编号页次2/66.3、保养流程：6.3.1、选定所测试膜厚程式。6.3.2,进入“Recipe”界面选取程式（如阁4,需测试PSS光刻胶厚选定程式“PKonA1203”）。RecipePRonAI2O3点击箭头选収所需程式EditRecipe6.3.3、图4选定所测样品所对应程式，点击“0K”即可

3、。（图5）6.3.4、6.3.5>图5设定所测样品基准。进入“BaselineProcedure”界面。（如图6）Operation图66.3.6,放置所测试样品所对应基底至载台光斑下S102或A1203。6.3.7、点击“AcquireSample”获取基底样品。（如图7）点击获収基底样品文件编号页次3/6文'取出基底片后点击“AcquireBackground”图76.3.8、选定样品基底种类，SI02或A1203,点击“AcquireReference”，开始收取基底样品信息。（如图8）选定基底点击“AcquireReference’’图86.3.9

4、、基底信息收集完毕，需取出所放置于载台上的基底，点击“AcquireBackground”，进行基底信息分析。（如图9）图96.3.10、基底信息分析完成后，点击“Finish”，完成设定样品基准步骤。（如图10）点击“Finish”完成图10文件编号页次4/66.3.11、将所测试样品放置于载台之上，注意正面朝上，小心轻放并注意划伤。（如图11）图116.3.12、点击“Measure”即可得出所测试样品膜厚。（如图12）点击“Measure”测试膜厚图126.3.13读取样品膜厚测试值，取出样品。（如图13）所测得膜厚值图136.3.14、机台标准件验

5、证，此项由工艺工程师完成。6.3.15、标准件测试需时间Si基底作为基准，测试程式为“Si02onSi”，将Si02膜厚标准件进行测试即可。6.3.16、Si02膜厚标准件Si02厚度为

6、A,所测试厚度在

7、±20A表面仪器正常，可正常使用;若不在范围之内需停止使用，并通知上级领导处理。文件编号页次5/6图1福建中晶科技有限公司FujianZhongJingTechnologyCo.,Ltd.7.0、开、关机步骤：7.1、开机步骤：7.1.1、开启机台电源，内置灯泡点亮（如图1）。6.1.2,开启机台电脑桌面软件“FTLMeastire”（如图2）图27.1

8、.3、确认光纤正常，将A1203基准片放置于载台光纤光斑之下，正面朝上，观察光纤六个点光斑是否正常（光斑亮度是否一致，如图3）,也可使用白纸置于载台进行观察。如光斑存在不一致现象，需立即通知工艺工程师，并停止使用。■-光纤光斑图36.2、关机步骤：5.2.1、先关闭测试仪软件FILMeasureo7.2.2、然后关闭机台电源，内置灯泡熄灭即可。7.2.3、若测试仪长时间无需使用，注意关闭测试异常。福建中晶科技有限公司文件编号FujianZhongJingTechnologyCo.,Ltd.页次6/68.0、相关表单（或附件）：序号表单备注1膜厚仪保养记录表

9、2设备履历表