洁净室新风集中处理系统

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1、洁净厂房集中新风处理系统2015-07-14张逸翔暖通南社系统概述0AC是洁净厂房的集中新风处理的系统，也叫新风处理装置；欧美叫做MAU:Make-upairunit新风机组；日本叫做OAC:outdoorairconditioner外气处理机组。一般有3个作用：1、去除室外空气中的灰尘颗粒和有毒有害气状物。2、对送入洁净室的新风进行集中处理，以达到FAB所需的具有一定温湿度和洁净度的补充空气一一洁净室的湿度一般就是由MAU来控制。3、根据室内正压压差计控制送入一定量的新风，以维持洁净厂房的正压值。某项目0AC布局图0

2、AC处理外气流程概述外界新风无纺布初效过滤器中效过滤器-＞预热/冷处理（冬季工况下要求水喷淋前温度达到18°0-＞水喷淋将新风温度降至12.7度，湿度为100%RH）-＞再冷/热处理（将送风温度调节至22°C，湿度为45%RH）化学过滤器-＞高效过滤器-►送至洁净室回风夹道上方。夏季0AC设计外气入口工况为夏季：39°CDBv31.8°CWB,处理流程如下：1.经过预处理段和水喷淋将较热的新风处理为22°Cv100%RHo2.根据出风温湿度设定值22"C、45%,此时露点温度为10.3°C、100%,所以经过再冷盘管后

3、，将新风温度降为10.3°C（100%）。3.经过再热盘管，将出风温度升至22QC。冬季0AC设计外气入口工况为夏季：-10&CDB,-20°CDP,处理流程如下:1.经过预处理段将较冷较干的新风升温至18它。1.经过水喷淋段将新风处理为12.7°C、100%RH,利用水喷淋送水温度，减小了再冷盘管除湿时的负荷，根据水喷淋段的换热效率，设计预处理段19"C，经过水喷淋的热交换，使其喷淋后温度控制在12.7°C。2.经过再冷盘管将送风温度降至OAC送风露点温度10.3°C、100%。3.经过再热盘管，将出风温度升至22°

4、C。新风空调系统及其组成新风空调的组成1.初效过滤器、中效过滤器、化学过滤器、超高效过滤器。2.预冷段、预热段、水喷淋段、再冷段、再热段。3.风机段以及其他附属仪表组成。过滤器分类0AC系统有四种过滤器：初效过滤器、中效过滤器、高效过滤器、化学过滤器。采用钢格栅可冲洗式初效过滤器，初效过滤器可拆卸清洗，风量损失为10%，过滤颗粒效率为80%o中效过滤器：尺寸为610X610X290mm，过滤颗粒效率为98%。超高效过滤器：尺寸为610X610X292mm，过滤颗粒效率为99.9995%。化学过滤器参数如下：0AC化学过

5、滤器要求AMC范围(ug/m3)现场取样量测之去除效率(%)最初去除效率(1month)最后去除(2~12month)TOG50~500>95>70>500>95>70NH310~100>95>70>100>95>70Acids(N03,S02，CI,F,CH3COO+HCOO)10~100>95>70>100>95>70再冷盘管再热盘管风机段，每台OAC有两个风机，55KWX2,满载为53Hzo水喷淋段预热盘管在冬季工况下设定最小开度，为防止OAC在未开启的状态下，外气较低的温度可能会冻伤盘管，所以无论OAC是否开启

6、，在冬季工况下预热盘管设定有最小开度防止盘管结冻。冬季工况下，由于OAC预热盘管的控制点在喷淋段之后，预冷盘管的控制点在喷淋段之前，当预热条件满足的情况下，相对于喷淋前控制的温度会高于预冷段控制点，这样预处理时冷热盘管会同时开启，导致资源浪费，冬季工况下并不需要开启预冷盘管，改良后的控制方法是将预冷预热盘管的控制点改正同为喷淋前温度，而将喷淋后温度设置为加湿板换中温水阀门开度控制，这样就避免了预处理段冷热水阀门同时开启，从而节约了能源。冬季工况下，由于OAC预热盘管的控制点在喷淋段之后，预冷盘管的控制点在喷淋段之前，当

7、预热条件满足的情况下，相对于喷淋前控制的温度会高于预冷段控制点，这样预处理时冷热盘管会同时开启，导致资源浪费，冬季工况下并不需要开启预冷盘管，改良后的控制方法是将预热盘管自控阀开度和水喷淋板换处中温水自控阀开度同步，等于将水喷淋温度提高，降低了预热盘管的开度，在保证水喷淋后温度的同时，水喷淋前的温度也有所下降，低于预冷盘管设定值时，则无需开启预冷盘管，可以达到节能的效果。水喷淋泵简介每台OAC水喷淋段有两个水喷淋泵及其附件组成，水喷淋段有两个重要的功能:1.加湿较干的空气，经过再冷再热后达到要求的送风湿度。2溶解外气可

8、溶于水的化学成分，减少OAC化学过滤器和FFU上化学过滤器的负担。OAC系统对洁净室的影响某项目案例：OAC空调机设置在N/S4F和FAB5F东西两侧FAB5F西侧：OAC1#〜6#FAB5F东侧：OAC8#"14#N/S4F：OAC7#14台OAC拥有各自的新风入口，而出口则组成一个环形网络连通后，通过集管送入洁净厂房，并通过区