功能高分子材料在多晶硅生产中的应用

《功能高分子材料在多晶硅生产中的应用》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、功能高分子材料在多晶硅生产中的应用摘要：在多晶硅改良西门子方法生产中，系统中B杂质会富集且很难除去，对产品质量影响很大，另外，运行中会产生一定量的副产物二氯二氢硅，不易回收，且存在很大的安全隐患。随着功能材料的快速发展，吸附与离子交换技术是一种继蒸馏，萃取等典型化工分离手段之后，逐渐在化工行业普遍使用的一种化工分离操作技术，功能高分子材料在多晶硅生产中的应用发展迅速，尤其是系统除B杂质和二氯二氢硅反歧化应用很广泛，降本增效效果明显。关键词：二氯二氢硅；功能高分子材料；吸附；反歧化;分类号：TQ342文献标识码：AFunctionalpolymermaterialsinthea

2、pplicationofthepolysiliconproductionXiaoRonghuiLiuJianhuaWanYeChinaENFIEngineeringCorporationBeijingl00038Abstract：IntheproductionofpolysiliconwithModifiedSiemensprocess,thesystemwillbeenrichedinB,whichisdifficulttoremove,andhasagreatimpactonproductquality.Inaddition,thesystemwillgenerateac

3、ertainamountofbyproductsTrichlorosilane,whichisdifficulttorecoveryandhasabigsecurityrisk.Withtherapiddevelopmentoffunctionalmaterials,adsorptionandionexchangetechnologyisanotherwidelyusedchemicalseparationtechniqueafterdistillation,extraction,etc.Thefunctionalpolymermaterialsdevelopmentrapi

4、dlyintheapplicationofpolysiliconproduction,especiallyintheuseofBimpuritiesandTrichlorosilaneinversedisproportionationreaction.Keywords:Trichlorosilane;FunctionalPolymerMaterials；Adsorption；inversedisproportionation.1.前言目前，多晶硅的生产方法主要有改良西门子法，硅烷法。其中改良西门子法占到了80%左右的产能，硅烷法中三氯氢硅歧化法应用较多，改良西门子法和硅烷歧化

5、法都是将物料提纯分离最后再还原或分解的过程［广2］，在提纯和分离的过程中，杂质B较难除去，容易在系统中富集，对产品质量的影响很大。另外，生产过程中系统中会产生一定量的二氯二氢硅，属于甲类危险源，且容易对系统设备管道产生腐蚀，如何加以有效的利用成为多晶硅生产企业的一个主要问题［3］。近年来，随着功能材料的快速发展，吸附与离子交换技术是一种继蒸馏，萃取，吸收等典型化工分离手段之后，逐渐在化工行业普遍使用的一种化工分离操作技术，吸附与离子交换可以起到提取、分离、浓缩和精制的作用［4］。在多晶硅生产中，国内外相关公司已经研发并应用了除B杂质和二氯二氢硅反歧化的功能材料，并且运行状况良

6、好，本文将对除B杂质和二氯二氢硅反歧化的功能材料在多晶硅生产中的运行情况进行探讨。1.能高分子材料的原理、检测和生产流程目前吸附分离领域应用的树脂主要是大孔吸附树脂，即非离子型高分子聚合物，具有吸附性和筛选性，化学性质稳定，不溶于酸、碱及有机溶剂，对有机物选择性好，不受无机盐等离子和低分子化合物的影响。大孔吸附树脂是在合成时加入惰性的制孔剂，待网络骨架固化和链结构单元形成后，再用溶剂萃取或水洗蒸馏将其去除，就形成了不受外界条件影响的孔隙，孔径一般在10（Tl000nm［5］。工业生产树脂功能材料需要配备相应的检测仪器和方法，对产品进行分析实验，工业树脂性质检测相关的检测仪器主

7、要包括粒度仪、显微镜、气相色谱、液相色谱、水含量测定仪、紫外光谱、红外光谱、原子光谱、树脂耐压强度测定仪、比表面积测控仪和亚汞仪（测定树脂孔径）等。生产树脂主要的工艺流程为：给料混料反应固液分离溶剂清洗固体干燥粒度筛分分装。1.附功能材料在多晶硅除B杂质中的应用多晶硅生产中，原料中B、P主要以三氯化硼和三氯化磷形式存在，不易除去，影响产品品质。据报道，在多晶硅除B领域主要使用大孔螯合树脂，螯合树脂是一类能与离子形成多配位络合物的交联功能高分子材料，吸附机理是树脂上的功能原子与目标离子发生配位反应，形成类