微电子工艺实习实践教学研究

《微电子工艺实习实践教学研究》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在应用文档-天天文库。

1、为了确保“教学点数字教育资源全覆盖”项目设备正常使用，我校做到安装、教师培训同步进行。设备安装到位后，中心校组织各学点管理人员统一到县教师进修学校进行培训，熟悉系统的使用和维护。微电子工艺实习实践教学研究　　摘要：微电子专业包含半导体工艺、器件以及集成电路等相关研究方向，是21世纪我国重点发展的技术方向，与国家经济、科技发展密切相关。针对本科教学过于偏重理论课程，导致学生很难在工作中迅速掌握实用技能的现状，各高校正在逐步提高实践教学比例。开设微电子专业学生的工艺实习课程，能够使学生更加直接的接触半导体行业核心技术，通过亲身体验了解半导体器件、集成电路生产

2、等的加工与设计之间的关系，从而促进学生对半导体器件、集成电路设计等课程的学习。开展工艺实习课程是微电子专业学习的重要实践环节，对后续学习、研究奠定重要基础。　　关键词：微电子集成电路实习实践　　中图分类号：G482文献标识码：A文章编号：1674-098X10-0241-02为了充分发挥“教学点数字教育资源全覆盖”项目设备的作用，我们不仅把资源运用于课堂教学，还利用系统的特色栏目开展课外活动，对学生进行安全教育、健康教育、反邪教教育等丰富学生的课余文化生活。为了确保“教学点数字教育资源全覆盖”项目设备正常使用，我校做到安装、教师培训同步进行。设备安装到位

3、后，中心校组织各学点管理人员统一到县教师进修学校进行培训，熟悉系统的使用和维护。　　目前微电子专业得到广泛重视，我国从战略高度将其确定为优先发展的产业。无论军用还是民用方面都对微电子尤其是集成电路方向人才需求旺盛，这在发展集成电路方面是难得的机遇，同时也面临挑战。这也致使高校学生过于偏重集成电路设计学习，忽视工艺方面的研究，导致学生对集成电路实际工艺偏差对所设计的器件影响理解不够深入，很难设计出性能优越的半导体器件以及集成电路。开展本科生半导体工艺实习，成为半导体以及微电子学科的必然要求。本文将从工艺实习的必要性、如何开展工艺实习等方面探讨在实践教学中的

4、微电子专业学生培养方法[1]。　　1开展微电子专业实习实践的必要性　　实践教学对于大多数工科课程都具有十分重要的作用，微电子学是基于半导体工艺的工程技术学科，直到21世纪前10年，半导体器件发展基本遵循摩尔定律，加工技术突飞猛进。尤其是集成电路课程相对于其他学科更加偏重于对微米甚至纳米级物理效应的研究，知识体系复杂，学生理解和掌握的难度较高。由于本学科自身的抽象特性，导致学生很难在电路设计中理解由于工艺和半导体晶体特性产生的对所设计器件的极限性能的影响，学生设计出的电路往往达不到预想的性能，甚至在功能上都难以保证。此外，由于集成电路设计工作可以获得较高的

5、经济利益，致使我国半导体工艺研究明显滞后于集成电路或半导体器件的设计研究工作，通过工艺实践可以使学生充分理解和掌握半导体工艺特点，培养学生对半导体器件原理研究的兴趣，促进学生将来从事半导体工艺物理方面的研究，改善我国微电子行业发展不平衡的状态。最后，实习实践教学可以有效的弥补理论教学的抽象性局限，能够减少学生的知识盲点，促进学习成绩的提高[2]。　　2如何开展微电子工艺实习实践教学为了充分发挥“教学点数字教育资源全覆盖”项目设备的作用，我们不仅把资源运用于课堂教学，还利用系统的特色栏目开展课外活动，对学生进行安全教育、健康教育、反邪教教育等丰富学生的课余

6、文化生活。为了确保“教学点数字教育资源全覆盖”项目设备正常使用，我校做到安装、教师培训同步进行。设备安装到位后，中心校组织各学点管理人员统一到县教师进修学校进行培训，熟悉系统的使用和维护。　　结合微电子专业学习特点，开展微电子工艺实践教学，务必做到实践课程有理论支撑、与理论相关联，促进理论知识理解，从学生兴趣出发，建立健全实验、工艺实习所需仪器设备，提高学生对工艺实习的积极性，从而达到学习目的和激发学生从事相关科研、生产工作的热情。为更好地开展微电子工艺实习实践教学，有必要从以下几个方面开展工作。　　合理的实习内容构建　　微电子工艺实习是半导体物理、集成

7、电路以及MEMS设计等课程的实践教学环节，该实习课程主要内容应该按照以上相关课程需要开设。结合半导体工艺特点设置适合高校开展的实习内容。由于半导体工艺生产线特别昂贵，国内高校很少有独立半导体生产线，哈尔滨工业大学以本科教学为目的建设的一条集成电路生产线，包含清洗、扩散、光刻、蒸镀、烧结、压焊以及封装等设备，能够完整实现简单集成电路生产，使同学们在学校就能够了解和学习集成电路生产的全过程。同时，为了配合半导体工艺实习，实验室配备了集成电路工艺生产中的中测、成测环节所必须的显微镜、电阻率探针测试台、半导体特性图示仪等镜检和测试仪器，开展了静电键合实验、四探针

8、法电阻率测试实验以及三极管特性测试实验等与工艺生产相结合的实验课程，进一步加深学