中国物联网产业之MEMS传感器市场发展趋势.doc

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1、中国物联网产业之MEMS传感器市场发展趋势　　　　中国物联网产业之MEMS传感器市场发展趋势　　　　　　　　　　在手持终端应用领域，Jérémie指出将会出现一些新兴传感器，包括指纹传感器，环境(湿度、气体、紫外线)传感器，健康(脉搏、血氧)传感器，热成像传感器等。此外MEMS麦克风、运动传感器包括加速计、磁力计、陀螺仪、压力传感器以及不同类别的运动传感器组合等市场均有较好的成长表现。　　一些主要MEMS厂商动态　　在整个半导体生态体系中，MEMS正扮演着越来越重要的角色，其应用范围包含了消费电子、汽车工业、工业控制乃至生物医学、

2、航空航天等领域，且仍在迅速扩大。MEMS在即将到来的物联网时代中将起到的核心作用，为新科技产品提供更智能、更敏锐的感观能力。国内外各大MEMS企业都将扩大对MEMS传感器研发的投入。例如Honeywell的两条MEMS生产线正火热运行中;中芯国际正逐渐成为MEMS传感器领域的制造厂商，把业务从CMOS扩展到MEMS;美新半导体以自家设计的三轴加速度计为例，介绍了目前在传感器设计中遇到的难点和重大突破。　　Honeywell电子传感业务总监MichaelYoung点出了Honeywell目前关注的四个主要领域：“我们主要是关注一些工业方面的引用，

3、包括：　　一，随着人口老龄化会有更多医疗方面的应用;　　二，随着劳动力成本不断上升我们会关注自动化方面的应用，包括和OEM方面的一些合作;　　三，环境监控监测，水的质量，空气质量的一些监控;　　四，随着城市化进程不断加深，很多城市居民小区需要对电进行监控，能源管理，还有安全方面我们也会关注。”　　中芯国际技术研究发展资深总监黄河指出，技术的发展持续推动着MEMS传感器成本下降——这已经是不可逆的趋势。“MEMS芯片的成本降低速度远远超过了CMOS芯片，而竞争进一步加强了对更紧凑的系统封装的需求。”由于MEMS工艺的复杂度远超过CMOS工艺，在现

4、有CMOS晶圆厂的特定产线上预先引入特别的MEMS器件工艺，黄河认为这一途径具有巨大的潜力，而中芯国际也正在通过此方法将代工业务从CMOS扩展到MEMS领域。例如中芯与SiliconLabs合作开发的CMEMS技术，把MEMS架构直接构建于标准CMOS晶圆上，从而获完全集成的高可靠“CMOS+MEMS”单晶片解决方案，以此工艺打造的Si50x系列振荡器，“这是业界首个0.13微米单片集成的CMOS-MEMS量产工艺。”黄河强调。此后中芯又将TSV技术引入到CMOS后端制程，发布了另一项业界首个基于0.18微米e-TSV平台的3DMEMSSiP商

5、用工艺。“我们应该用全新的视角，以系统的方法来设计、制造、组装和测试MEMS芯片。技术进步和改进在加速，我们将同时面临前所未有的挑战和与机遇。”　　1999年赵阳博士凭借自主发明的热对流加速度传感器技术在美国创建了美新公司(MEMSIC)，同年11月在中国无锡成立公司，并开始研发生产MEMS传感器。MEMSIC(MEMS+IC)开发了独一无二的MEMS传感器组件和系统集成技术，专注于制造多种小型化和成本更低的产品，为消费电子、工业自动化以及航空等领域提供市场需要的多样产品。现在，美新已在传感器部件及系统集成方面积累了深厚的技术和经验。美新半导体

6、总裁赵阳介绍了美新开发的世界首款3DWLP封装单芯片热加速度计。　　传统的加速度计是基于电容或压电技术，用于测量微机械质量结构运动。这种技术在许多方面具有一定的局限性，如表面粘附(称为黏附)、滞后、机械振荡、电磁干扰、昂贵的制造过程，也面临一些与微机械运动结构相关问题的挑战。为了解决这些问题，美新开发出一种独特的技术，该技术解决了与传统基于MEMS的加速度计相关的问题。独有专利的热对流技术，是全球第一家使用标准CMOS工艺的单芯片集成混合信号处理电路的热对流MEMS惯性传感器。独特的单芯片硅片设计方法从根本上降低了成本和增强了芯片性能、功能和质

7、量，“美新的这款热加速度计芯片尺寸仅1.2mmx1.7mm，检测范围包括2g、4g、8g，具有12位精度，零偏移迟滞，售价仅0.19美元起。”他强调。　　“手机仍然是我们会关注的领域。在今后五年我们会看到中国手机出货量将占全球一半的数量，数量上已经超过三星以及苹果。中国手机消费也仍然将是全球第一，今后还将继续增长，这些消费者他们不会消失。”赵阳补充说，“海外市场我们主要关注工业应用，不会关注海外消费者应用。”　　意法半导体执行副总裁兼模拟器件、MEMS及传感器产品事业部总经理BenedettoVigna强调，在过去十年，运动传感器技术彻底改变了

8、人类与电子设备的互动方式。通过研发和推广运动传感器到各种智能型消费性电子应用，意法半导体在这一技术革命中扮演了相当重要的角色。据他介绍，目前意法半导体