供输半导体级一般气体之配管工作程序

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1、一般氣體配管工作程序供輸半導體級一般氣體之配管工作程序1•適用範圍：本程序乃適用於半導體生產工廠中所安裝的供輸一般氣體用之配管工作。2.氣體管路的種類：CDA,N2,02,H2,He,Ar3.工作範圍：在這裡所定義的管線涵蓋範圍由各種不同氣體的起始點連接至各生產機台的USE。1）分段點a)主管路（Main）為由氣體的起始流出點（Gasyard）至無塵潔淨室中的第一組分支閥（MainLine）為止。b）B次主管（Submain）乃指由無塵潔淨室中之第一組分支閥至第二組分支閥（SubmainLine）止。c）第二條管線由第二組分支閥開始至pointof

2、use分支點。2）壓縮乾空氣（CDA）對壓縮乾空氣而言,其管路在氣體流岀點處需配有一乾燥空氣岀口之過濾器，整個管線一直完成至各生產機台設備的連接點為止。3）氮氣（N2）分為PN2及GN2:a）PN2：其配管工作由GasYard的末端閥經過氮氣純化器（N2Purifier庠機台P.O.U。b）GN2:其配管工作由GasYard的末端閥至機台P.O.U.o4）氧氣（02）分為P02及GO2:a）P02:其配管工作由GasYard的末端閥經過氧氣純化器（02Purifier）至機台P.O.U.ob）G02:其配管工作由GasYard的末端閥至機台P.O.

3、U.o5）氫氣（H2）分為PH2及GH2:a）PH2:其配管工作由GasYard的末端閥經過氫氣純化器（H2Purifier）至機台P.O.U.ob）GH2:其配管工作由GasYard的末端閥至機台P.O.U.o6）氨氣（He）分為PHe及GHe:a）PHe：其配管工作由GasYard的末端閥經過氨氣純化器（HePurifier）至機台P.O.Uqb）GHe:其配管工作由GasYard的末端閥至機台P.O.U.。7）氫氣（Ar）分為PAr及GAr:a）PAr：其配管工作由GasYard的末端閥經過氫氣純化器（ArPurifier庠機台P.O.U.o

4、b）GAr:其配管工作由GasYard的末端閥至機台P.O.U.o2.工作環境在工作現場需配有一臨時性潔淨棚，且所有配管工作的操作基本上必須在此區域內完成，以避免一些不當的污染。此潔淨棚必須維持且控制在以下的環境條件下：1）臨時性潔淨棚a）微塵數目（靜態數，粒子大小＞0.3um者）位置潔淨度庫房10000切割工作區域1000焊接工作區域1000b）條件：於焊接工作區域內，其溫度為2I°C,相對濕度則為65%。c）氣流：每小時循環60次。d）環境：此潔淨棚需足以阻絕微粒、油污及其他外來物質。2）如何控制潔淨棚內的氣壓a）藉由棚內空氣的循環與過濾可以控

5、制微粒多寡。b）在此區域工作的工作者需穿著無塵衣鞋。5•工作完成之標準1）焊接工作a)兩條管線的尾端焊接主要利用自動焊接機來完成。b)C）彎頭部份大於及等於15A的管子需使用90°的彎頭，小於及等於1/2"的管子則需使自動焊接機的狀況可藉由製作測試用樣品片來檢查；至少每天做兩次，於早晨與下午焊接工作開始之前。2）氣體管材的處理a）管線與零件的清潔：所有的管子與其零件需於製造後以管帽蓋住開口處、封裝後，始可運送至現場；任何管子與零件在彎管、切割及焊接諸如此類工作之進行前，需確定其清潔度可維持的情形下始可拆封。b）氫氣Purge:在裝配好個別的預作管線

6、且擺放好後，每一單位均需以氫氣Purge乾潔3）純度提升的方法：用純氫氣來噴洗管線內部。（氫氣純度：99.99999）4）配管完成後的檢查:a)外觀目檢：送樣本附表b）焊接點目視檢查：1•上午及下午工作焊接前2.若遇停電或不可抗拒之因素後必須送樣本附表c）鎖入配件目檢。d）壓力/偵漏檢驗。e）微塵測試。f）純度測試。5)預先允諾管線行經路線為了避免由焊接工作的過程中因不斷修正而導致的損失，管線所經的路線必須先經由客戶召集各承包商進行套,一但經業主確認無誤施工後,線若須變更，則一切因變更而增加的費用需由客戶自付。6）強制性穿戴手套：在進行每一個操作時

7、必須穿上乾淨無塵膠質手套，嚴禁使用裸手操作。6•工作進行之步驟為了維持完成後的潔淨在所訂定之水準內，氣體供輸的管線工作必須计可能地小心去完成。序號項目步驟製造地點材料檢查機械切割氫氣沖洗焊接及安裝安裝後的檢查最後清潔防塵帽蓋逐項檢查各項材料是否符合訂單上的規格切割至所需長度及使用機器將端點磨平充以氫氣，噴洗並清理管干末端部份由通過資格鑑定的技師台圭心+立七士口冃月分段逐一檢查清潔並以氮氣不斷噴洗以達潔淨要求將管子兩端覆以帽蓋並以塑膠套膜包裝潔淨棚全部流程均在臨時性潔淨棚中操作、處理儲存整組封好運送之1管線預作之檢查工作O檢查欲架設地點於架設管線之現

8、場中進行2臨時性架設O確定所切割之管線符合預先設計之長度3分區安裝O擺設好並焊接之4檢驗工作•外觀目檢、充以壓力及進行氣密