MEMS设备市场稳步成长 多种MEMS制程崭露头角.doc

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1、MEMS设备市场稳步成长多种MEMS制程崭露头角　　市场研究机构YoleDeveloppement的最新报告指出，仅管微机电系统（MEMS）产业的标准化尚未落实，各大公司仍致力于让自己的技术平台最佳化；这方面的制程革新也将驱动MEMS设备及材料在2012到2018年间达到7%的年复合成长率。　　制程革新将点燃MEMS的设备与材料市场，YoleDeveloppement预期MEMS相关制造设备市场将在接下来五年内，以5.2%的年复合成长率从2012年的3亿7，800万美元，在2018年成长至5亿1，000万美元以上；值得注意的是，YoleDeveloppemen

2、t预期MEMS的设备市场的循环周期模式将与主流IC设备市场相当。　　而在接下来五年，MEMS材料与相关的消耗品之需求将以10.5%的年复合成长率，从2012年的1亿3，600万美元成长到2018年的2亿4，800万美元以上。　　　　全球MEMS设备与材料需求（单位：百万美元）　　目前，MEMS的制造仍相当多元且欠缺标准化；仍采用YoleDeveloppement所形容的一种产品，一套制程规则。其实MEMS的历史与一般IC产业不同，且其技术蓝图也与半导体产业有所不同。因此，以完全不同制造方式制作相同MEMS装置的业者处处可见，有时还甚至来自同一家公司（例如，CM

3、OSMEMS及混合途径方法都可用于惯性感测器或麦克风）。　　然而，当MEMS与前代产品相比成为可快速攻入市场的商品化产品时，任何能够加速商业化流程的事宜也都会广受欢迎。MEMS的封装正朝向与前端制程不同的方向演进，且YoleDeveloppement已经注意到，封装标准化对于支援产量大幅成长的产品出货之重要性将会提高，而与MEMS与感测器内容相关的整体成本将会降低（例如，制造商之间的麦克风封装方式大都相同）。此外，这份报告也显示在前端制程方面，各大公司都正在发展针对不同MEMS装置的独家技术平台。　　　　MEMS的前端制造发展趋势　　（