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《测控技术与仪器 毕业论文范文——电容加速度传感器测量电路设计》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。
1、电容加速度传感器测量电路设计摘要加速度传感器也称加速度计(Accelerometer)是用来测量加速度的惯性传感器件，可以应用于倾斜角、惯性力、冲击及振动等惯性参数的测量。加速度传感器在惯性制导、医疗、消费类电子产品中有很广泛的应用。电容式加速度传感器因为其高灵敏度和稳定性在各种测量形式的加速度传感器中备受关注。而电容测量电路的性能又直接影响加速度系统输出性能，因此提高电容测量电路的性能是加速度传感器系统设计中非常重要的部分。本文针对电容式加速度传感器测量过程中电容量变化较小的特点设计了微小电容的测量电路。在这篇文章中，详细的介绍了电容式传感器的工作原理，建立了差动
2、电容式加速度传感器的数学模型，并对其作了特性分析，由给定的非线性误差可以求出质量块相对运动的最大量程，给出了电容式加速度传感器测量电路的单元电路模块，如正弦信号发生电路、放大器电路、相敏解调电路、低通滤波电路。本设计具有结构简单，灵敏度高，输出稳定的优点。关键字：加速度传感器，电容式加速度传感器，测量电路ThemeasuringcircuitofcapacitiveaccelerationsensorAbstractAccelerationsensor,whichalsoknownasaccelerometers(Accelerometer)isusedtomeas
3、uretheaccelerationoftheinertialsensorparts,canbeappliedtotiltangle,inertia,shockandvibrationmeasurementsofinertialparameters.Accelerationsensorsininertialguidance,medical,consumerelectronicsproductshaveverywideapplication.Becauseofitshighsensitivityandstabilityinvariousformsofaccelerat
4、ionsensors,capacitiveaccelerometerinthedetectionofconcern.Thecapacitancemeasuringcircuitperformancehasadirectimpactaccelerationsystemoutputperformance,soimprovingtheperformanceofcapacitancemeasurementcircuitisaccelerationsensorsystemforaveryimportantpart.Inthispaper,capacitiveaccelerat
5、ionsensorcapacitancechangesduringthedesignofthetinyfeaturesofthesmallercapacitancemeasurementcircuit.Inthisarticle,describesindetailtheworkingprincipleofcapacitivesensors,Theestablishmentofadifferentialcapacitiveaccelerationsensormodelanditscharacteristicswereanalyzedbyagivennonlineare
6、rrorcanbecalculatedrelativemotionofthelargestmassrange.Measuringcircuitcapacitiveaccelerationsensorunitcircuitmoduleispresented,suchasthesinusoidalsignalcircuits,amplifiercircuits,phasesensitivedemodulationcircuit,low-passfiltercircuit.Thisdesignhasasimplestructure,highsensitivity,outp
7、utstabilityadvantages.Keyword：Accelerometer,CapacitiveAccelerometer,Measurementcircuit第I页共I页目录1绪论11．1本课题研究背景11．2本课题研究的目的和意义12电容式加速度传感器32．1电容式加速度传感器的发展现状及应用32．2电容式加速度传感器的分类32.2.1变面积式电容结构42.2.2变间距式电容结构52．3电容式加速度传感器的工作原理62．4电容式加速度传感器的差动电容计算及特性分析103电容式加速度传感器测量电路的设计123．1电容式加速度传感器测量电路的发展现状
