HB2166系列硅压阻复合压力传感器.doc

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1、HB2166系列硅压阻复合压力传感器概述:HB2166系列硅压阻复合压力传感器采用硅集成压阻芯片作为传感元件,采用微机械加工技术自主设计制作,能够同时实现对现场中的差压、静压、温度等参数进行测量,具有精度高、体积小、重量轻、稳定性好等特点。采用四膜片静压和过载保护结构,全不锈钢壳体,316L隔离膜片封装及标准差压容室接口,可用来测量差压、静压、流量、液位、温度等参数,广泛应用于石油、化工、电力、造纸等工业领域的测量与过程控制。主要技术指标:序号项目差压静压温度1基准量程40KPa、100KPa、400KPa、

2、1000KPa10MPa、16MPa-30〜+80℃2桥路电阻5(1±20%)KΩ10(1±20%)KΩ25(1±20%)KΩ3零点失调≤20mV≤30mV4满量程输出≥50mV≥50mV≥15Ω/℃5静态精度±0.1%FS±0.25%FS±0.5%FS8零点温度影响±0.1%FS/℃9满量程温度影响±0.05%FS/℃10长期稳定性±0.1%FS/年,±0.2%FS/年11静压影响±0.2%FS/10MPa;±0.5%FS/10MPa;±1%FS/10MPa;12供电电源1(1±50%)mA,或恒压5(1±

3、10%)VDC13绝缘电阻≥100MW(100VDC)14工作温度-10~+60℃、-30~+80℃传感器外型结构示意图电气接线示意图型号及规格代号: HB2166硅压阻复合压力传感器代号基准量程差压4000~40KPa1010~100KPa4010~400KPa1020~1MPa静压1030~10MPa1630~16MPa代号静态精度差压A1±0.10%FSA2±0.25%FSA3±0.5%FS静压B1±0.1%FSB2±0.25%FSB3±0.5%FS代号静压影响E1±0.2%FS/10MPaE2±0.5

4、%FS/10MPaE3±1.0%FS/10MPa代号连接尺寸M1卡套连接LM2客户约定代号压力接口P1无容室P2配容室代号使用温度T1-10~+60℃T2-30~+80℃数字年代与编号选型示例HB2166101/163A3/B3E2M1P1T10600003HB2166复合传感器,差压量程0~100KPa,准确度±0.5%FS;静压量程0~16MPa,准确度±0.5%FS;静压影响±0.5%FS/10MPa;卡套与表头连接;无压力容室;使用温度-10~+60℃;2006年生产,第00003号

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